Candela 8620 Sistema di ispezione di wafer da KLA-Tencor Progettato per LED ad alta luminosità Produttori

Published on January 21, 2011 at 6:40 AM

Oggi, KLA-Tencor Corporation (Nasdaq: KLAC), fornitore leader mondiale di controllo di processo e produzione di soluzioni di gestione per l'industria dei semiconduttori e affini, ha introdotto il suo nuovo Candela ® 8620 substrato e epitassia (epi) sistema di ispezione di wafer.

Progettata per un diodo ad emissione luminosa luminosità (HBLED) i produttori, di Candela 8620 fornisce controllo automatico dei difetti dei materiali LED come il nitruro di gallio, zaffiro, e carburo di silicio, consentendo un migliore controllo della qualità dei substrati sia opaco e trasparente, più veloce time-to-root causa, e migliorato Metal Organic Chemical Vapor Deposition (MOCVD) uptime del reattore e la resa.

Candela (R) 8620 substrato e epitassia (epi) wafer sistema di controllo

Con la sua tecnologia proprietaria ottica di progettazione e di rilevamento, di Candela 8620 rileva e classifica sub-micron difetti che non sono sempre identificati da attuali metodi di controllo, consentendo in tal modo per la prima volta un monitor linea di produzione per queste rendimento-limitanti difetti. Secondo fonti industriali, come HBLED transizione produzione ai produttori di wafer di dimensioni più grandi e introdurre nuovi disegni zaffiro substrato (PSS) i processi, l'impatto economico dei difetti indotti dal processo che ne risulta è stimato in milioni di dollari di fatturato prodotto persi all'anno, e MOCVD epi problemi di processo può portare a ben il 40 per cento del totale difetto indotta perdita di resa.

"Le migliori prestazioni di Candela KLA-Tencor del 8620 è una parte importante della nostra resa e gli sforzi di riduzione dei costi", ha commentato Iain Nero, vice presidente dell'ingegneria di produzione e innovazione a Philips Lumileds, uno dei primi utilizzatori del sistema 8620 Candela. "Il sistema è stato un elemento importante per accelerare il nostro processo di rampa per avvicinarlo a 150 mm ed è substrati che ci permette di selezionare fornitori zaffiro con la massima qualità."

Difetti da substrato e epi impatto processi dispositivo di prestazioni, rendimento e affidabilità sul campo. La Candela 8620 in grado di rilevare:

  • Difetti del substrato come micro-graffi e micro-fessurazioni che possono creare difetti di processo epi e un impatto diretto LED di rendimento e affidabilità
  • Fonti di difetto di litografia e processi etch fantasia zaffiro come mancanti urti e resistere vuoti, con conseguente difetti o epi flusso luminoso ridotto
  • Macro e micro-difetti nei processi MOCVD, tra cui cave esagonali e urti porta a guasti elettrici, e crepe epi che possono avere un impatto negativo affidabilità campo

Substrato LED e strati epitassia pongono ispezione significative sfide a causa di alti livelli di segnale di fondo e difetti fastidio. Imaging del 8620 Candela e il sistema di rilevamento è ottimizzato per migliorare il segnale rilevanti difetti di interessi, mentre del rumore di fondo. Aiutato dalla sua ottica multicanale di rilevamento, il sistema permette inoltre di classificazione elevata purezza di tali difetti, consentendo in tal modo completo controllo statistico di processo su processi critici MOCVD.

"KLA-Tencor fa leva più di tre decenni di esperienza nel controllo di processo dei semiconduttori a vantaggio dei clienti nei mercati emergenti come HBLED," ha affermato Jeff Donnelly, vice presidente del gruppo della crescita e mercati emergenti a KLA-Tencor. "Recentemente, diversi produttori HBLED aver installato il sistema di Candela 8620, e dimostrata capacità del sistema di identificare difficile da rilevare difetti consente ai clienti di realizzare substrate di qualità superiore e massimizzare il ritorno sugli investimenti MOCVD".

KLA-Tencor ha attualmente centinaia di strumenti Candela installati in tutto il mondo. Lo strumento di Candela fa parte del portafoglio integrato HBLED KLA-Tencor, che include la ICOS ® WI-2220 e WI-2250, e Klarity ® LED. Strumenti di Candela sono supportati da KLA-Tencor è globale, rete di assistenza globale.

Fonte: http://www.kla-tencor.com/

Last Update: 6. October 2011 13:27

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