קנדלה 8620 פיקוח ופלה מערכת של KLA-Tencor מיועד בהירות גבוהה LED היצרנים

Published on January 21, 2011 at 6:40 AM

היום, KLA-Tencor Corporation (סימול: KLAC), הספקית המובילה בעולם של שליטה בתהליך ואת התשואה פתרונות ניהול לתעשיות המוליכים למחצה בנושא, הציג קנדלה החדש שלה ® 8620 המצע epitaxy (EPI) מערכת בדיקה רקיק.

עוצב עבור דיודה פולטת אור גבוהה בהירות (HBLED) יצרנים, קנדלה 8620 מספק בדיקה אוטומטיות פגם LED עבור חומרים כגון גליום ניטריד, ספיר, סיליקון קרביד, המאפשרת בקרת איכות משופרת של מצעים הן אטום ושקוף, מהר time-to-root הסיבה, ושיפור מתכת אורגני כימית אדי בתצהיר (MOCVD) uptime הכור ואת התשואה.

קנדלה (R) 8620 המצע epitaxy (EPI) בדיקה רקיק מערכת

עם הטכנולוגיה הקניינית שלה עיצוב זיהוי אופטי, קנדלה 8620 מזהה מסווג תת מיקרון ליקויים שאינם מזוהים באופן עקבי על ידי בדיקה הנוכחי שיטות ובכך לאפשר לראשונה קו ייצור לפקח על אלה תשואה הגבלת פגמים. לדברי מקורות בתעשייה, כמו ייצור יצרני HBLED המעבר בגדלים פרוסות גדולות להציג החדשה בדוגמת ספיר (PSS) של תהליכים המצע, ההשפעה הכלכלית של פגמים בתהליך הנגרמת כתוצאה נאמד במיליוני דולרים בהכנסות מוצר איבדה בשנה, MOCVD EPI בעיות בתהליך עלול לגרום אחוזים כמו 40 של אובדן הכוללת פגם-Induced תשואה.

"ביצועים משופרים של קנדלה KLA-Tencor של 8620 היא חלק חשוב של התשואה שלנו והפחתת עלות המאמצים", אמר איאן בלאק, סמנכ"ל הנדסה, ייצור וחדשנות פיליפס Lumileds, לאמץ מוקדם של מערכת קנדלה 8620. "המערכת כבר מרכיב חשוב בתהליך מואץ הרמפה שלנו כפי שאנו המעבר מצעים 150 מ"מ, והוא מאפשר לנו לבחור ספקים ספיר באיכות הגבוהה ביותר".

פגמים מן המצע ואת עלית תהליכים להשפיע על ביצועי המכשיר, תשואה ואמינות בשדה. קנדלה 8620 ניתן לזהות:

  • פגמים תשתית כגון מיקרו שריטות מיקרו סדקים אשר יכולים ליצור פגמים EPI תהליך ישירות השפעה LED תשואה ואמינות
  • פגם מקורות ליתוגרפיה ותהליכים לחרוט על בדוגמת ספיר כגון חסר בליטות להתנגד חללים, וכתוצאה מכך EPI פגמים או פלט לומן מופחת
  • מאקרו ומיקרו פגמים בתהליכי MOCVD, כולל בורות ומהמורות משושה מובילה לכישלון חשמל, סדקים EPI אשר יכול להשפיע לרעה על אמינות השדה

המצע LED שכבות epitaxy להוות בדיקה אתגרים משמעותיים בשל רמות גבוהות של אות רקע פגמים מטרד. הדמיה של 8620 קנדלה מערכת זיהוי מותאם על מנת לשפר את האות מריבית של פגמים-הרלוונטיים תוך רעשי רקע דיכוי. בעזרת Multi-channel שלה אופטיקה זיהוי, המערכת מאפשרת בנוסף סיווג הטוהר גבוהה של פגמים כאלה, ובכך לאפשר תהליך מקיף בקרה סטטיסטית של תהליכים MOCVD קריטי.

"KLA-Tencor היא למנף יותר משלושה עשורים של מומחיות בקרת תהליך מוליכים למחצה לטובת הלקוחות בשווקים המתעוררים כמו HBLED", אמר ג'ף דונלי, נשיא קבוצת סגן צמיחה שווקים מתעוררים ב KLA-Tencor. "לאחרונה, יצרני HBLED מספר התקינו את מערכת 8620 קנדלה, ואת היכולת המוכחת של המערכת לזהות שקשה לזהות פגמים מאפשר ללקוחות לממש את המצע באיכות גבוהה למקסם את ההחזר על ההשקעה MOCVD."

KLA-Tencor כרגע יש מאות כלי קנדלה מותקנים ברחבי העולם. הכלי קנדלה היא חלק מתיק HBLED משולב של KLA-Tencor, הכוללת את ® ICOS WI-2220 ו-Wi-2250, ו Klarity ® LED. כלים קנדלה מגובים על ידי רשת גלובלית, של KLA-Tencor שירות מקיף.

מקור: http://www.kla-tencor.com/

Last Update: 5. October 2011 18:42

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit