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KLA-Tencor からのカンデラ 8620 ウエファーの検査システムは高い明るさ LED の製造業者のために設計しました

Published on January 21, 2011 at 6:40 AM

現在、 KLA-Tencor Corporation (NASDAQ: KLAC)、世界の半導体および関連の企業のためのプロセス制御および収穫管理解決の一流の製造者は、新しい Candela® 8620 の基板およびエピタクシー (epi) のウエファーの検査システムをもたらしました。

高い明るさの発光ダイオード (HBLED) の製造業者のために設計されていて、カンデラ 8620 は不透明な、透過基板、より速いタイムにルート原因および改善された金属の有機性化学気相堆積リアクター稼働時間および収穫のガリウム窒化物のような LED 材料に自動化された欠陥の点検を、サファイアおよびケイ素の (MOCVD)炭化物可能になる高められた品質管理提供します。

カンデラ (R) 8620 基板およびエピタクシー (epi の) ウエファーの検査システム

専有光学デザインおよび検出の技術によって、カンデラ 8620 は現在の点検方法それによりによって一貫して識別されないミクロ以下の欠陥を検出し、分類しまこれらの収穫限定の欠陥のための生産ラインモニタをはじめて可能にします。 より大きいウエファーのサイズへの HBLED の製造業者の転移の生産として業界筋に従って、新しい模造されたサファイアの基板プロセスを (PSS)もたらせば、生じるプロセス誘発の欠陥の経済的な影響は何百万の 1 年ごとの無くなった製品の収入のドルで推定され、 MOCVD の epi プロセス問題はので全面的な欠陥誘発の収穫の損失の 40% 生じるかもしれません。

「KLA-Tencor のカンデラ 8620 の高められたパフォーマンス私達の収穫およびコスト低減の努力の重要な部分」、はイアンのコメントされた黒、フィリップス Lumileds のカンデラ 8620 システムの早い採用者の製造業工学そして革新の副大統領です。 「システム私達のプロセス傾斜路の加速の重要な要素であり、ので私達が 150 の mm の基板への転移良質のサファイアのベンダーを選ぶことを許可している私達が」。は

基板および epi プロセスからの欠陥は装置パフォーマンスに影響を与え、信頼性をもたらし、そして守備につきます。 カンデラ 8620 は検出できます:

  • 基板は epi のプロセス欠陥を作成し、直接 LED の収穫および信頼性に影響を与えることができるマイクロひびおよびマイクロスクラッチのような逃走します
  • 抜けた隆起のような模造されたサファイアのための石版印刷および腐食プロセスからの欠陥ソースは epi の欠陥か減らされた内腔の出力に終っておよびボイドに、抵抗します
  • 停電の原因となる六角形ピットを含む MOCVD プロセスのマクロおよびマイクロ不利にフィールド信頼性に影響を与えることができる欠陥、および隆起および epi は割れます

LED の基板およびエピタクシーの層の姿勢の背景のシグナルおよび迷惑のハイレベルによる重要な点検挑戦は逃走します。 ほかの雑音を抑制している間カンデラ 8620's イメージ投射および検出システムは関連した欠陥の興味からのシグナルを高めるために最適化されます。 多重チャンネルの検出の光学によって助けられて、システムはその上にそれにより重大な MOCVD プロセスの広範囲の統計的なプロセス制御を可能にするそのような欠陥の高い純度の分類を、可能にします。

「HBLED のような新興市場の顧客に寄与するプロセス制御半導体の専門知識の三十年」はより多くに KLA-Tencor てこ入れしていますジェフ Donnelly を、 KLA-Tencor の成長そして新興市場のグループの言いました副大統領。 「最近、複数の HBLED の製造業者はカンデラ 8620 システムをインストールし、識別するシステムの証明された機能はハードに検出します欠陥をより高い基板の品質を実現し、 MOCVD の投資のリターンを最大化することを許可します顧客を」。

KLA-Tencor に現在何百もの世界中でインストールされるカンデラツールがあります。 カンデラツールは KLA-Tencor の ICOS® WI-2220 および WI-2250 を含んでいる、および Klarity® LED です統合された HBLED のポートフォリオの部分。 カンデラツールは全体的な KLA-Tencor 広範囲サービスネットワークによって支持されます。

ソース: http://www.kla-tencor.com/

Last Update: 11. January 2012 12:18

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