KLA-Tencor에서 칸델라 8620 웨이퍼 검열제도는 높은 광도 LED 제조자를 위해 디자인했습니다

Published on January 21, 2011 at 6:40 AM

오늘날, KLA-Tencor Corporation (NASDAQ: KLAC), 세계의 순서 관리의 주요한 공급자 및 반도체 및 관련 기업을 위한 수확량 관리 해결책은, 그것의 새로운 Candela® 8620 기질과 켜쌓기 (epi) 웨이퍼 검열제도를 소개했습니다.

높은 광도 발광 다이오드 (HBLED) 제조자를 위해 디자인해, 칸델라 8620는 불투명하기도 하고 투명한 기질, 더 단단 시간 에 루트 원인 및 향상한 금속 유기 화학 수증기 공술서 반응기 가동 시간 및 수확량의 갈륨 질화물과 같은 LED 물자를 자동화한 결점 검사를 사파이어 및 실리콘 (MOCVD) 탄화물 가능하게 하는 강화한 품질 관리 제공합니다.

칸델라 (R) 8620 기질과 켜쌓기 (epi) 웨이퍼 검열제도

그것의 소유 광학적인 디자인과 탐지 기술로, 칸델라 8620는 현재 검사 방법 그로 인하여에 의해 일관되게 확인되지 않는 미크론 이하 결점을 검출하고 분류해 이 수확량 제한 결점을 위한 생산 라인 모니터를 처음으로 가능하게 하. 더 큰 웨이퍼 규모에 HBLED 제조자 전환 생산으로 경제계에 따르면, 새로운 모방한 사파이어 기질 프로세스를 (PSS) 소개하거든, 유래 프로세스 유도된 결점의 경제 충격은 년 당 분실된 제품 수익에 있는 달러의 수백만에 추정되고, MOCVD epi 프로세스 문제점은 이므로 작업 바지에 의하여 결점 유도된 수확량 손실의 40% 유래할 수 있습니다.

"KLA-Tencor의 칸델라 8620의 강화한 성과 우리의 수확량과 가격 할인 노력의 중요한 부분,"는 Iain 논평한 검정, Philips Lumileds 의 칸델라 8620 시스템의 초기 채용자에 제조 기술설계 그리고 혁신의 부사장입니다. "시스템 우리의 가공 경사로 계속 가속에 있는 중요한 요소입니다 때문에 우리가 150 mm 기질에 전환과 고품질을 가진 사파이어 납품업자를 선정하기 것을 허용하기 저희가."는

기질과 epi 프로세스에서 결점에 의하여 장치 성과를 착탄하고, 신뢰도가 열매를 산출하고 수비에 세웁니다. 칸델라 8620는 검출할 수 있습니다:

  • 기질은 epi 가공 결점을 만들고 직접 LED 수확량과 신뢰도를 착탄할 수 있는 미소 균열과 마이크로 찰상과 같이 배반합니다
  • 없는 융기와 같은 모방한 사파이어를 위한 석판인쇄술과 식각 프로세스에서 결점 근원은 epi 결점 또는 감소된 루멘 산출의 결과로 및 공허를 저항합니다
  • 정전으로 이끌어 내는 6각형 구덩이를 포함하여 MOCVD 프로세스에 있는 큰 마이크로 결점, 및 융기, 및 불리하게 필드 신뢰도를 착탄할 수 있는 epi는 부숩니다

LED 기질과 켜쌓기 층 자세 배경 신호와 불쾌의 상부 때문에 중요한 검사 도전은 배반합니다. 배후 인물을 억압하고 있는 동안 칸델라 8620's 화상 진찰 및 검출 시스템은 관련된 결점 의 관심사에서 신호를 강화하기 위하여 낙관됩니다. 그것의 다중채널 탐지 광학에 의해 원조해, 시스템은 게다가 그로 인하여 중요한 MOCVD 프로세스의 포괄적인 통계 순서 관리를 허용하는 그 같은 결점의 높은 순수성 분류를, 허용합니다.

"HBLED 같이 부상하는 시장에 있는 고객을 유익하는 반도체 순서 관리에 있는 전문 기술의 삼십년," 보다는 더 많은 것이 KLA-Tencor에 의하여 레버리지를 도입하고 있습니다 Jeff Donnelly를, KLA-Tencor에 성장 그리고 부상하는 시장의 단 말했습니다 부사장. "최근에, 몇몇 HBLED 제조자는 칸델라 8620 시스템을 설치하고, 확인하는 시스템의 입증된 기능은 단단하 에 검출합니다 결점을 더 높은 기질 질을 실현하고 MOCVD 투자에 반환을 확대하는 것을 허용합니다 고객이."

KLA-Tencor에는 지금 전세계 설치된 칸델라 공구의 수백이 있습니다. 칸델라 공구는 KLA-Tencor의 ICOS® WI-2220와 WI-2250를 포함하는, 통합한 HBLED 포트홀리로 그리고 Klarity® LED의 일부분입니다. 칸델라 공구는 글로벌 KLA-Tencor, 포괄적인 서비스 통신망에 의해 역행됩니다.

근원: http://www.kla-tencor.com/

Last Update: 11. January 2012 12:20

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