Site Sponsors
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions

Candela 8620 het Systeem van de Inspectie van het Wafeltje van KLA-Tencor voor Hoge van de Hoofd Helderheid Fabrikanten wordt Ontworpen die

Published on January 21, 2011 at 6:40 AM

Vandaag, KLA-Tencor Corporation (Nasdaq: KLAC), introduceerden de belangrijke leverancier van de wereld van procesbeheersing en de oplossingen van het opbrengstbeheer voor de halfgeleider en de verwante industrieën, zijn nieuwe Candela® 8620 substraat en epitaxy (epi) het systeem van de wafeltjeinspectie.

Ontworpen voor de hoge fabrikanten van de helderheids lichtgevende diode (HBLED), verstrekt Candela 8620 geautomatiseerde tekortinspectie voor LEIDENE materialen zoals galliumnitride, saffier, en silicium carbide-toelatende verbeterde kwaliteitsbeheersing van zowel ondoorzichtige als transparante substraten, snellere tijd-aan-wortel oorzaak, en de betere reactor van het Deposito van de Chemische Damp van het Metaal (MOCVD) Organische uptime en opbrengst.

Substraat 8620 van de Candela (R) en epitaxy (epi) het systeem van de wafeltjeinspectie

Met zijn merkgebonden optische ontwerp en opsporingstechnologie, ontdekt Candela 8620 en classificeert submicrontekorten die niet constant door huidige inspectie methode-daardoor voor het eerst toelatend een lopende bandmonitor voor deze opbrengst-beperkt tekorten worden geïdentificeerd. Volgens de industriebronnen, aangezien HBLED introduceert de productie van de fabrikantenovergang aan grotere wafeltjegrootte en de nieuwe gevormde processen van het saffier (PSS)substraat, wordt het economische effect van resulterende proces-veroorzaakte tekorten geschat op miljoenen dollars in verloren productopbrengst per jaar, en MOCVD epi de proceskwesties kunnen voortvloeien aangezien 40 percent van algemeen tekort-veroorzaakt opbrengstverlies.

De „verbeterde prestaties van Candela 8620 van KLA-Tencor zijn een belangrijk stuk van onze opbrengst en de inspanningen van de kostenvermindering,“ becommentarieerden de Zwarte van Iain, ondervoorzitter van productietechniek en innovatie in Philips Lumileds, een vroege adopter van Candela 8620 systeem. Het „systeem is een belangrijk element in het versnellen van onze proceshelling aangezien wij overgang aan 150 mmsubstraten geweest en ons toegestaan om saffierverkopers met de hoogste kwaliteit te selecteren.“

De Tekorten van substraat en epi processen beïnvloeden van het van de apparatenprestaties, opbrengst en gebied betrouwbaarheid. Candela 8620 kan ontdekken:

  • De tekorten van het Substraat zoals micro-krassen en micro-cracks die epi proces tot tekorten en direct effect LEIDENE opbrengst en betrouwbaarheid kunnen leiden
  • De bronnen van het Tekort van lithografie en etsen processen voor gevormde saffier zoals ontbrekende builen en verzetten zich tegen leegten, resulterend in epi tekorten of verminderde lumenoutput
  • De micro- tekorten van de Macro en in MOCVD processen, met inbegrip van hexagonale kuilen en builen die tot elektromislukking leiden, en epi barsten die gebiedsbetrouwbaarheid kunnen ongunstig beïnvloeden

De LEIDENE substraat en epitaxy lagen vormen significante inspectieuitdagingen toe te schrijven aan hoge niveaus van achtergrondsignaal en lasttekorten. Het de weergave en de opsporingssysteem wordt van de Candela 8620's geoptimaliseerd om het signaal van relevante tekort-van-rente te verbeteren terwijl het onderdrukken van achtergrondruis. Geholpen door zijn opsporingsoptica met meerdere kanalen, staat het systeem bovendien hoge zuiverheidsclassificatie van dergelijke tekorten toe, daardoor toestaand uitvoerige statistische procesbeheersing van kritieke MOCVD processen.

„KLA-Tencor leveraging meer dan drie decennia van deskundigheid inzake halfgeleiderprocesbeheersing aan voordeelklanten in nieuwe markten zoals HBLED,“ bovengenoemde Jeff Donnelly, groepsondervoorzitter de Groei en Nieuwe Markten in KLA-Tencor. „Onlangs, hebben verscheidene fabrikanten HBLED Candela 8620 systeem geïnstalleerd, en de bewezen capaciteit van het systeem zich te identificeren hard-aan-ontdekt de tekorten klanten toestaat om hogere substraatkwaliteit te realiseren en rendement van MOCVD investering te maximaliseren.“

KLA-Tencor heeft momenteel honderden de hulpmiddelen van de Candela rond de wereld worden geïnstalleerd die. Het hulpmiddel van de Candela maakt deel uit van de geïntegreerde portefeuille HBLED van KLA-Tencor, die, van ICOS® wi-2220 en wi-2250 en LEIDEN Klarity® omvat. De hulpmiddelen van de Candela worden gesteund door mondiaal, uitvoerig de dienstnet van KLA-Tencor.

Bron: http://www.kla-tencor.com/

Last Update: 11. January 2012 12:10

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit