O Sistema de Inspecção da Bolacha do Candela 8620 de KLA-Tencor Projectou para Fabricantes do DIODO EMISSOR DE LUZ do Brilho Alto

Published on January 21, 2011 at 6:40 AM

Hoje, KLA-Tencor Corporation (Nasdaq: KLAC), o fornecedor principal do mundo de soluções controles de processos e do rendimento da gestão para o semicondutor e as indústrias relacionadas, introduziram seu sistema de inspecção novo da carcaça de Candela® 8620 e da bolacha da epitaxia (epi).

Projetado para fabricantes do diodo luminescente de brilho alto (HBLED), o Candela 8620 fornece a inspecção automatizada do defeito para materiais do DIODO EMISSOR DE LUZ tais como o nitreto do gálio, a safira, e controle aumentado depossibilidade da qualidade do silicone de carcaças opacas e transparentes, de uma causa mais rápida da tempo-à-raiz, e do uptime e do rendimento Orgânicos melhorados do reactor (MOCVD) do Depósito de Vapor Químico do Metal.

Candela (R) 8620 sistema de inspecção da carcaça e da bolacha da epitaxia (epi)

Com sua tecnologia óptica proprietária do projecto e da detecção, o Candela 8620 detecta e classifica os defeitos submicrónicos que não são identificados consistentemente por métodos-desse modo actuais da inspecção permitindo pela primeira vez uma linha monitor da produção para estes defeitos delimitação. De acordo com fontes da indústria, como a produção da transição dos fabricantes de HBLED aos tamanhos maiores da bolacha e introduza processos modelados novos da carcaça (PSS) da safira, o impacto econômico de defeitos processo-induzidos resultantes é calculado em milhões de dólares em rendimento perdido do produto pelo ano, e as edições do processo do epi do MOCVD podem resultar visto que 40 por cento da perda defeito-induzida macacão do rendimento.

“O desempenho aumentado do Candela 8620 de KLA-Tencor é uma parte importante de nossos esforços da redução do rendimento e de custo,” o Preto comentado de Iain, vice-presidente da engenharia da fabricação e da inovação em Philips Lumileds, um adoptante adiantado do sistema do Candela 8620. “O sistema foi um elemento importante em acelerar nossa rampa do processo porque nós transição às carcaças de 150 milímetros e estamos permitindo que nós seleccionassem vendedores da safira com o mais de alta qualidade.”

Os Defeitos dos processos da carcaça e do epi impactam o desempenho do dispositivo, rendem e colocam a confiança. O Candela 8620 pode detectar:

  • A Carcaça defects como os micro-riscos e as microfissura que podem criar defeitos do processo do epi e directamente impactar o rendimento e a confiança do DIODO EMISSOR DE LUZ
  • As fontes do Defeito dos processos da litografia e gravura em àgua forte para a safira modelada tal como colisões faltantes e resistem vácuos, tendo por resultado defeitos do epi ou a saída reduzida do lúmen
  • Os defeitos Macro e micro em processos do MOCVD, incluindo poços sextavados e as colisões que conduzem à falha elétrica, e o epi racham-se que pode adversamente impactar a confiança do campo

A carcaça do DIODO EMISSOR DE LUZ e os desafios significativos da inspecção da pose das camadas da epitaxia devido aos níveis elevados de sinal e de incômodo de fundo defects. A imagem lactente e o sistema de detecção do Candela 8620's são aperfeiçoados para aumentar o sinal do defeito--interesse relevante ao suprimir o ruído de fundo. Ajudado por seu sistema ótico da detecção do multi-canal, o sistema permite adicionalmente a classificação da pureza alta de tais defeitos, permitindo desse modo controle de processos estatístico detalhado de processos críticos do MOCVD.

“KLA-Tencor leveraging mais de três décadas da experiência no semicondutor controle de processos para beneficiar clientes em mercados emergentes como HBLED,” disse Jeff Donnelly, vice-presidente do grupo de Crescimento e de Mercados Emergentes em KLA-Tencor. “Recentemente, diversos fabricantes de HBLED instalaram o sistema do Candela 8620, e a capacidade provada do sistema para identificar duro-à-detecta defeitos permite que os clientes realizem uma qualidade mais alta da carcaça e maximizem o retorno no investimento do MOCVD.”

KLA-Tencor tem actualmente centenas de ferramentas do Candela instaladas em todo o mundo. A ferramenta do Candela é parte da carteira integrada do HBLED de KLA-Tencor, que inclui o ICOS® WI-2220 e WI-2250, e do DIODO EMISSOR DE LUZ de Klarity®. As ferramentas do Candela são suportadas por KLA-Tencor global, rede de serviço detalhada.

Source: http://www.kla-tencor.com/

Last Update: 11. January 2012 12:27

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