Site Sponsors
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D

Система Контроля Вафли Кандели 8620 от KLA-Tencor Конструировала для Изготовлений СИД Высокой Яркости

Published on January 21, 2011 at 6:40 AM

Сегодня, KLA-Tencor Корпорация (NASDAQ: KLAC), поставщик мира ведущий управления производственным процессом и разрешения управления выхода для полупроводника и родственных индустрий, ввели свою новую систему контроля субстрата Candela® 8620 и вафли эпитаксии (epi).

Конструировано для изготовлений светоиспускающого диода высокой яркости (HBLED), Канделя 8620 предусматривает автоматизированный осмотр дефекта для материалов СИД как нитрид галлия, сапфир, и проверка качества кремния карбид-позволяя увеличенная как опаковых и прозрачных субстратов, более быстрой причины врем-к-корня, и улучшенных uptime, так и выхода реактора Низложения (MOCVD) Химического Пара Металла Органических.

Система контроля субстрата 8620 Кандели (R) и вафли эпитаксии (epi)

С своей собственнической оптически технологией конструкции и обнаружения, Канделя 8620 обнаруживает и классифицирует дефекты субмикрона которые последовательно не определены настоящими методами-таким образом осмотра позволяющ для the first time монитора производственной линии для этих выход-ограничиваясь дефектов. Согласно источникам в отрасли, как продукция перехода изготовлений HBLED к более большим размерам вафли и введите новые сделанные по образцу процессы субстрата (PSS) сапфира, влияние на экономику приводя к процесс-наведенных дефектов оценено на миллионах долларов в потерянном доходе продукта в год, и вопросы процесса epi MOCVD могут привести к поскольку 40 процентов дефект-наведенной прозодеждой потери выхода.

«Увеличенное представление Кандели 8620 KLA-Tencor важная часть наших усилий выхода и снижения себестоимости,» прокомментированные Чернота Iain, недостаток - президент инженерства изготавливания и рационализаторство на Philips Lumileds, предыдущем усыновителе системы Кандели 8620. «Система важный элемент в ускорении нашего отростчатого пандуса по мере того как мы переход к субстратам 150 mm и позволяем нам выбрать поставщиков сапфира с самым высокомарочным.»

Дефекты от представления субстрата и ударного устройства процессов epi, выхода и надежности поля. Канделя 8620 может обнаружить:

  • Субстрат изменяет как микро--скресты и микро--отказы которые могут создать дефекты epi отростчатые и сразу плотно сжать выход и надежность СИД
  • Источники Дефекта от процессов литографированием и etch для сделанного по образцу сапфира как пропавшие рему и сопротивляют свободным пространствам, приводящ к в дефектах epi или уменьшенном выходе люмена
  • Макрос и микро- дефекты в процессах MOCVD, включая шестиугольные ямы и рему водя к электрическому отказу, и epi трескают которое может неблагоприятно плотно сжать надежность поля

Субстрат СИД и возможности осмотра представления слоев эпитаксии значительно должные к высоким уровням сигнала и досады предпосылки изменяют. Воображение и система обнаружения Кандели 8620's оптимизированы для того чтобы увеличить сигнал от уместного дефект--интереса пока подавляющ величину фона. Помогать своей оптикой обнаружения multi-канала, система дополнительно позволяет классифицированию особой чистоты таких дефектов, таким образом позволяя всестороннему статистически управлению производственным процессом критических процессов MOCVD.

«KLA-Tencor leveraging больше чем 3 декады экспертизы в управлении производственным процессом полупроводника для того чтобы помочь клиентам в появляющийся рынок как HBLED,» сказал Джеф Donnelly, недостаток группы - президент Роста и Появляющийся Рынок на KLA-Tencor. «Недавно, несколько изготовлений HBLED устанавливали систему Кандели 8620, и способность системы доказанная определить трудн-к-обнаруживает дефекты позволяет клиентам осуществить более высокое качество субстрата и увеличить возвращение на облечение MOCVD.»

KLA-Tencor в настоящее время имеет сотниы инструментов Кандели установленных вокруг мира. Инструмент Кандели часть портфолио HBLED KLA-Tencor интегрированного, которое включает ICOS® WI-2220 и WI-2250, и СИД Klarity®. Инструменты Кандели подперты KLA-Tencor глобальный, всесторонней сетью сервиса.

Источник: http://www.kla-tencor.com/

Last Update: 11. January 2012 12:29

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit