Site Sponsors
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
  • Technical Sales Solutions - 5% off any SEM, TEM, FIB or Dual Beam
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD

Candela 8620 Wafer Inspection System från UCK-Tencor Designad för High Brightness LED-tillverkare

Published on January 21, 2011 at 6:40 AM

Idag, KLA-Tencor Corporation (Nasdaq: KLAC), världens ledande leverantör av processkontroll och yield management-lösningar för halvledarindustrin och relaterade industrier, introducerade sin nya Candela ® 8620 substrat och epitaxi (FEI) wafer inspektionssystem.

Konstruerad för hög ljusstyrka lysdiod (HBLED) tillverkare ger Candela 8620 automatiserade defekt inspektion för LED material som galliumnitrid, safir och kiselkarbid-möjliggör förbättrad kvalitetskontroll av både opaka och transparenta substrat, snabbare time-to-root orsak, och förbättrad Metal kemiska förångningsreaktorer (MOCVD) reaktorns drifttid och avkastning.

Candela (R) 8620 substratet och epitaxi (FEI) wafer inspektionssystem

Med den egenutvecklade optiska designen och Detection-teknik, känner av Candela 8620 och klassificerar submikrona defekter som inte alltid identifieras med nuvarande kontrollmetoder-vilket möjliggör för första gången en produktionslinje monitor för dessa ger övergående fel. Enligt branschens uppgifter är lika HBLED tillverkare övergång produktionen till större wafer storlekar och införa nya mönstrade safir substrat (PSS) processer, den ekonomiska effekten av resultatet process-inducerad defekter uppskattas till miljontals dollar i förlorade produkt intäkt per år och MOCVD epi Processen frågor kan leda till så mycket som 40 procent av totala defekt-inducerad avkastningen förlust.

"Den förbättrade prestanda UCK-Tencor är Candela 8620 är en viktig del av vår avkastning och kostnader ansträngningar att minska", säger Iain Black, vice VD för produktionsteknik och innovation på Philips Lumileds, tidigt ute i Candela 8620-systemet. "Systemet har varit ett viktigt inslag i accelerera vår process ramp som vi övergången till 150 mm substrat och tillåter oss att välja safir leverantörer med högsta kvalitet."

Fel från substrat och EPI processer påverkar enhetens prestanda, avkastning och fält tillförlitlighet. Den Candela 8620 kan upptäcka:

  • Substrat defekter som mikro-repor och mikrosprickor som kan skapa EPI bearbeta fel och direkt inverkan LED avkastning och tillförlitlighet
  • Defekta källor från litografi och etch processer för mönstrade safir som saknade gupp och motstå håligheter, vilket resulterar i EPI fel eller minskas ljusflöde
  • Makro-och mikro-defekter i MOCVD processer, inklusive sexkantiga gropar och gupp som leder till elavbrott och epi sprickor som negativt kan påverka området tillförlitlighet

LED-substrat och lager epitaxi innebär betydande kontroll utmaningar på grund av höga nivåer av bakgrunden signalen och defekter olägenhet. Den Candela 8620 har bildbehandling och system för upptäckt är optimerad för att förbättra signalen från relevanta defekter-av-intresse samtidigt som undertrycker bakgrundsljud. Med hjälp av sin multi-channel optik upptäckt, kan systemet dessutom hög renhet klassificering av sådana defekter, vilket möjliggör omfattande statistisk processtyrning av kritiska MOCVD processer.

"UCK-Tencor är att utnyttja mer än tre årtionden av expertis inom halvledare processtyrning till kunder i tillväxtmarknader som HBLED", säger Jeff Donnelly, Group Vice President för tillväxt och Emerging Markets på KLA-Tencor. "Nyligen har flera HBLED tillverkare installerat Candela 8620-systemet, och systemet beprövade förmåga att identifiera svåra att upptäcka defekter ger kunderna möjlighet att realisera högre substrat kvalitet och maximera avkastningen på MOCVD investeringen."

KLA-Tencor har idag hundratals Candela verktyg installerade runt om i världen. Den Candela Verktyget är en del av UCK-Tencor integrerade HBLED portfölj, som innehåller ICOS ® WI-2220 och WI-2250, och Klarity ® LED. Candela verktyg backas upp av UCK-Tencor globala, omfattande servicenätverk.

Källa: http://www.kla-tencor.com/

Last Update: 6. October 2011 13:27

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit