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Entegris Lancia Ultrapak Spedizioniere Marittimo Sottile del Wafer da 100 millimetri

Published on January 25, 2011 at 6:23 AM

Entegris, Inc. ha presentato uno spedizioniere marittimo del wafer che specificamente soddisfa le esigenze di manipolazione critiche dei wafer a semiconduttore (Si) composto e del silicio sottile.

Il nuovo Ultrapak® Spedizioniere Marittimo Sottile del Wafer da 100 millimetri è destinato per diminuire il danno e la contaminazione per proteggere meglio i substrati sottili utilizzati nella fabbricazione del LED ed in altre applicazioni. Il nuovo prodotto sta descrivendo con altre soluzioni del LED alla cabina della Società alla fiera 2011 di SEMICON Corea che è tenuta a Seoul, Corea il 26 gennaio 2011.

Corrente, l'industria del LED usa principalmente gli spedizionieri marittimi progettati per le applicazioni a semiconduttore. Questi spedizionieri marittimi della lastra di silicio non sono progettati per il Si sottile e le applicazioni a semiconduttore composto e possono causare la generazione di danno o di rottura, di inter-scanalatura e della particella del wafer via rotazione se utilizzato in queste applicazioni sensibili. Il nuovo Ultrapak 100 millimetri Assottiglia lo Spedizioniere Marittimo del Wafer, che fa leva la tecnologia e la progettazione provate della famiglia del Ultrapak di Entegris dei prodotti di trasporto del wafer, offerte parecchie caratteristiche del progetto che aiutano il Si sottile ed i produttori a semiconduttore composto a diminuire questi rischi, includere:

  • Supporto della cinghia della Navicella (cuscini superiori e più bassi) del wafer che limita la rotazione del wafer, quindi diminuendo la contaminazione della particella e garantisce i wafer nel caricatore 35mm per salvaguardare contro rottura.
  • Supporto Migliorato di perimetro del substrato via il cuscino superiore esteso ed il cuscino più basso per diminuire i livelli di sforzo durante gli eventi di impatto durante il trasporto.
  • I materiali Ultrapure del polipropilene che forniscono un ambiente pulito di trasporto ed assicurano i bassi livelli di degassamento per impedire la foschia o i cambiamenti al wafer affiorano.
  • Flange di raccolta Robot sul caricatore 35mm da tenere conto la manipolazione conveniente.
  • Allineamento Concentrare della pista della tacca e una barra “di H„ da contribuire ad assicurare interoperabilità accurata della strumentazione per sia i trasferimenti verticali che orizzontali del wafer.
  • La progettazione di imballaggio Secondario che tiene otto spedizionieri marittimi per volta, aiutante protegge fino a 200 wafer.

Il Ultrapak uno spedizioniere marittimo da 100 millimetri passa con successo la procedura di ISTA-2A per goccia di caduta libera con i wafer spessi di GE 150um facendo uso dell'imballaggio secondario progettato di Entegris. Egualmente ha passato una batteria di altre prove funzionali facendo uso di 300um, 200um e 150um assottigliano i wafer.

Sorgente: http://www.entegris.com/

Last Update: 11. January 2012 10:53

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