Site Sponsors
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions

Рудольф Получает Множественные Заказы для Самого Последнего Опакового Инструмента Метрологии Тонкого Фильма

Published on February 8, 2011 at 6:15 AM

Рудольф Технологии, Inc. (NASDAQ: RTEC), ведущий провайдер отростчатого оборудования и ПО характеризации для fabs вафли и выдвинутые упаковывая средства, объявленных сегодня что он получил заказы многоэлементной системы от главной Азиатской плавильни и IDM (интегрированного изготовления прибора) с средствами изготовления в США для своего самого последнего инструмента метрологии MetaPULSE-G опакового. Пересылки для того чтобы выполнить эти заказы запланированы для Q4 '10 сквозных Q3 '11.

Инструмент MetaPULSE-G добавление Рудольфа самое последнее к линии MetaPULSE опаковых систем измерения толщины тонкого фильма. Новый ультра-быстрый источник лазерного луча 515nm обеспечивает значительно улучшения в сигнале зашуметь и повторимости измерения. В дополнение к этим улучшениям, были осуществляны увеличения объём для типичных измерений как много как 50 процентов, до над 60 вафель в час. Совмещено, эти характеристики могут предложить улучшенное проведение на предварительных медных структурах соединения так же, как значительно уменьшениях в цене владения, должной, в большой части, к более высокому объём и недорог потребляемых веществ.

Система MetaPULSE-G

«Метрология Соединения будет более трудный по мере того как наши клиенты двигают к узлу процесса 32nm и ниже. Более Тонкие слои соединения управляют необходимыми улучшениями в точности измерения стога фильма и повторимость,» сказал Тим Kryman, менеджер по продукции дела метрологии Рудольфа. «В добавлении, картин-зависимые характеристики низложения показанные в сегодняшних предварительных процессах отжимают IDMs и плавильни для того чтобы двинуть от линии измерений монитора вафли и подьячей к на метрологии продукта. Источник лазера системы MetaPULSE-G уникально и улучшенное обнаружение сигнала обеспечивают наших клиентов разрешение метрологии с необходимой точностью и повторимость на объём 1,5 до 2 времени большие чем конкурсные технологии. Подобно к другим системам в номенклатуре товаров MetaPULSE, инструмент MetaPULSE-G также предлагает малый размер места который позволяет измерениям быть сделанным на продукте где представление фактического прибора решительно. Это все добавляет до уникально возможность и низкая цена выдвинутые сочетание из владения которое управляет приемкой заказчиком.»

Инструменты MetaPULSE Рудольфа, индустриальный стандарт для опаковой метрологии фильма, используют лазер-произведенный ИМП ульс звуколокации для того чтобы измерить толщину и другие свойства материальных слоев используемых для того чтобы построить полупроводниковое устройство. В отличие от X-Рэй-Основанных технологий, малый размер места инструментов MetaPULSE позволяет измерения сразу на вафлях продукта. Не Похож На оптически критические технологии (OCD) размера, инструменты MetaPULSE позволяют быстрому, легкому творению новых рецептов и не требуют специальных структур как твердые медные пусковые площадки под измеренными структурами.

Источник: http://www.rudolphtech.com/

<small>Posted 8-ое февраля 2011 </small>

Last Update: 11. January 2012 09:32

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit