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FEI, zum von TEM-Technologie zu CEA-Leti Bereitzustellen, um Materialien des Halbleiter-Zu Kennzeichnen 22nm

Published on February 22, 2011 at 7:31 PM

CEA-Leti kündigte heute an, dass die Firmen einen dreijährigen Vertrag, hoch entwickelte Halbleitermaterialien für den Knotenpunkt der Technologie zu kennzeichnen 22nm und jenseits schlossen haben. In Europa Ansässiger CEA-Leti, mit seinen zwei Partnern auf der NanoCharacterizations-Plattform von MINATEC-Campus, CEA-Liten (neue Materialien für neue Energie) und CEA-INAC (Nanoscience-Institut), wendet ihre Sachkenntnis in der Holografie- und nanobeambeugung an.

FEI versieht hoch entwickelte nanobeam Beugungstechnologie mit seinem Titanrastertransmissionselektronenmikroskop (S/TEM), die stärkste Welt, handelsübliches Mikroskop. Die Firmen messen Spannungsänderungen in den Halbleiterzellen.

Das FEI Titam TEM

„Die Forschung konzentriert sich auf zwei wichtige Bereiche: Gebrauch von Holografie mit der eindeutigen das XFEG-Elektronenquelle des Titanen, die Empfindlichkeit des Dopants zu verbessern ein Profil erstellend und der Gebrauch von nanobeam Beugungstechniken, Änderungen in der Spannung und in anderen kristallographischen Parametern zu messen,“ sagte George Scholes, Vizepräsident und Generaldirektor für S-/TEMProduktlinie FEIS. „Mit dem Titanen, FEI ist ein Führer in diesen Bereichen und wir freuen uns, mit CEA-Leti auf ihrer eindeutigen Plattform nach Kennzeichnung und nanoscale beim Fortfahren sich zusammenzutun, die Technologie voranzubringen.“

„Wir müssen die Empfindlichkeit, die Genauigkeit und den Durchsatz des Dopants verbessern ein Profil erstellend, um schrumpfend, Einheitsabmessungen zu unterstützen fortzufahren. Und ein besseres Verständnis der Effekte der Spannung ist in der Entwicklung von Einheiten der höheren Leistung IS, da wir fortfahren, die Technologie zum Knotenpunkt der Technologie zu drücken 22nm und jenseits,“ angegebener Rudy Kellner, Vizepräsident und Generaldirektor von der Elektronik-Abteilung FEIS kritisch.

Entsprechend Laurent Malier, CEO von CEA-Leti, „Wir beschlossen, mit FEI auf diesem dreijährigen Forschungsprojekt, nicht nur wegen ihres leistungsfähigen, handelsüblichen Mikroskops, aber auch wegen ihrer speziellen Sachkenntnis in den nanobeam Beugungsanwendungen zu arbeiten. Zusammen erwarten wir, einige kritische technische Straßensperren zu adressieren, welche die Halbleiterindustrie gegenüberstellen, während sie fortfährt, die Einheitsgröße und der Leistungsumschlag und auch -herausforderungen in der Kennzeichnung von den Materialien zu drücken, die im Allgemeinen verwendet werden im nanoelectronics und für nanosciences.“

Last Update: 12. January 2012 18:47

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