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EV GroupはEVG620HBLマスクアライメントシステムを発売

Published on February 23, 2011 at 5:09 AM

EVグループ(EVG)、先進的な半導体とパッケージング、MEMS、シリコンオンインシュレータ(SOI)と新興ナノテクノロジー市場向けウェーハ接合およびリソグラフィー装置のリーディングサプライヤーが、今日はために作成された製品ポートフォリオに加え、最新を発表高輝度発光ダイオード(HB - LED)の、化合物半導体とパワーエレクトロニクスの製造を最適化する。

競合製品よりもはるかに多くの - - デバイスの連続製造を可能にする新しいEVG620HBL完全に自動化されたマスクアライメントシステムは、高輝度紫外(UV)光源と5つのカセットステーションを追加し、EVGのフィールドで実証済みのマスクアライナのプラットフォーム上に構築されています。その結果、EVG620HBLは業界最高のアライメント精度と歩留まりとの時間あたり165 6インチのウェハ(時間あたり最大220枚最初の印刷モードで)までの比類のないスループットを実現します。

EV GroupはEVG620HBLマスクアライメントシステムの起動急成長を続けHB - LED市場に対応する製品のポートフォリオを拡張。

市場調査会社の株式会社グローバルインフォメーション(ファーミントン、コネチカット州)、高輝度LED(HB - LED)の世界的な消費量に応じての46050000000ドルに2010年に10090000000ドルから、今後10年間に急速なペースで成長し続けます2020年。キードライバーは、爆発的なソリッドステートおよび一般照明アプリケーションでの成長だけでなく、看板、専門業務用ディスプレイ、および定常(非車両)の信号が含まれます。この需要増を満たすために、HB - LEDメーカーはすぐに高い生産能力まで上昇だけでなく、最高の利回りを確保するため、その製造プロセスを最適化する必要があります - 最小の所有コストで自動化された製造ソリューションの必要性を上昇さすべてがを。

その専用EVG560HBL自動ウェーハ接合システムと同様に、昨年7月に導入、EVGは、これらのニーズに対応するためEVG620HBLアライナを開発した。 EVGは、この市場に新しいものではない - そのボンダーとマスクアライナは、上位5つの主要なHB - LEDメーカの4つで展開されています。この成功を基に、同社はこれらのデバイスの歩留まりとスループットの要件を満たすために専用のマスクアライメントシステムに対する顧客の需要に応えて620HBLを作成しました。

EVG620HBLのもう一つの重要な特徴は、照明のスペクトルサファイア、炭化ケイ素(SiC)、窒化アルミニウムなどの高度な基板材料を含む様々なウェハと層材料、と最高のパターンのコントラストを確保するために最適化されている特別なレシピ制御顕微鏡の可用性です( AlN)は、金属とセラミック。

"機器の製造およびプロセス工学における技術革新に関する当社の継続的なR&D活動と、フォーカスが一貫して私達の顧客が期待する、最先端の、大量生産のソリューションを提供するためにEVG社有効にしている、"ポールリンドナー、EV Groupのエグゼクティブテクノロジーディレクターは述べて。 "先月、大手HB - LEDのメーカーの一つは、EVG560HBLボンダーを命じた、とEVG620HBLはを満たすためにHB - LEDメーカーは、より、効率的な費用対効果と高収量デバイスを開発できるように周りの私達の継続的な努力の最新の結果です。お客様のニーズ。また、壊れたり、変形したウェーハの高精度ハンドリングと配置を特徴とこの最新の製品、とのさらなる進出を作ることを楽しみにして。"

ソース: www.evgroup.com

Last Update: 9. October 2011 04:38

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