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Posted in | Nanoanalysis

Integración de la Tecnología Cad-Basada del Análisis del Magma con los Sistemas de Inspección Avanzados Aplicados

Published on March 1, 2011 at 2:01 AM

Applied Materials, Inc. y Magma Design Automation, Inc. anunciaron hoy que han integrado el CAD del Magma (diseño automatizado) - navegación basada y rinden software de análisis con los sistemas de inspección avanzados Aplicados.

Esta combinación única de las herramientas del diseño y de la fabricación ha acelerado la aptitud de la litografía y la viruta mejorada rinde en los clientes múltiples para el revelado y la producción de nodos de la tecnología avanzada.

“La introducción de tecnología Cad-basada del examen para el análisis de defecto y de supervisión en GLOBALFOUNDRIES 1 Fabuloso ha ayudado a mejorar eficiencia de la administración del defecto y reducir la duración de ciclo para la optimización de proceso,” dijo los Kirsch de Remo, gerente de la Fabricación Libre de la Contaminación en GLOBALFOUNDRIES 1 Fabuloso en Dresden, Alemania. “Nuestras líneas de la producción y del revelado ahora confían en esta tecnología para ayudar a garantizar calidad de proceso y a rendir estabilidad.”

Mientras Que las características del dispositivo se encogen, lograr rendimientos aceptables llega a ser cada vez más desafiador. Las acciones recíprocas Complejas entre las condiciones de proceso y el diseño producen “manchas calientes” - las áreas donde el modelo impreso se desvía del intento de cálculo - que debe ser eliminado antes de que una viruta pueda entrar la producción. El diseño de Integración y los datos en tiempo real del examen provee de clientes una manera innovadora de determinar manchas calientes en un ambiente de producción y de mejorar su proceso de la aptitud del producto. Además, las condiciones que producen manchas calientes se pueden introducir de nuevo al proceso de diseño - mejorar diseños subsiguientes. Esto es una ventaja crítica en de rápida evolución de hoy, operaciones de la fabricación de la viruta de la alto-mezcla.

“Mientras Que los ciclos de desarrollo de productos llegan a ser más cortos y más cortos, el juego ha cambiado de la maximización del rendimiento a la rampa del rendimiento,” dijo a Ronen Benzion, vicepresidente y director general de Diagnósticos y de Unidad de Asunto De Proceso Aplicados del Mando. “Nuestro trabajo innovador con el Magma ayudará a nuestros clientes a apresurar sus nuevos productos para comercializar y para reducir los tiempo-a-ingresos.”

“Sin la capacidad de vencer barricadas de la aptitud del litho rápidamente, los diseños 22nm serán extremadamente que toma tiempo y costoso traer a la producción de volumen,” dijo a Ankush Oberai, director general y vicepresidente de la Unidad de Asunto Fabulosa del Análisis del Magma. “Combinando la tecnología Cad-basada del análisis del Magma con los sistemas avanzados Aplicados del examen y de la revista del defecto, podemos comprimir ciclos de diseño y acelerar el aprendizaje para las generaciones futuras del producto.”

Fuente: http://www.appliedmaterials.com/

Last Update: 12. January 2012 17:48

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