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Posted in | Nanoanalysis

マグマの応用高度の検査システムとの CAD ベースの分析の技術の統合

Published on March 1, 2011 at 2:01 AM

マグマの CAD (計算機援用設計) のベースの運行を統合した今日発表し、応用高度の検査システムが付いている分析ソフトウェアをもたらしますことを Applied Materials、 Inc. および Magma Design Automation、 Inc. は。

デザインおよび製造業のツールのこの一義的な組合せは石版印刷の修飾を加速し、改良されたチップは先行技術ノードの開発そして生産のための多重顧客でもたらします。

「欠陥分析のための CAD ベースの点検技術および GLOBALFOUNDRIES すてきな 1 のモニタリングの導入欠陥管理効率の改善を助け、プロセス最適化のためのサイクル時間を減らすため」、は Remo Kirsch、ドレスデン、ドイツの GLOBALFOUNDRIES すてきな 1 の汚染の自由な製造業のマネージャを言いました。 「私達の生産および開発ラインは両方この技術にプロセス品質を保証し、安定性をもたらすのを助けるために今頼ります」。

装置機能が縮まると同時に、受諾可能な収穫を達成することはますます挑戦的になります。 プロセス状態とデザイン間の複雑な相互作用は印刷されたパターンがチップが生産に入ることができる前に除去されなければならないデザイン意思から逸脱するところ 「ホットスポット」を作り出します - 領域。 統合デザインおよびリアルタイムの点検データは生産環境のホットスポットを識別し、製品の修飾プロセスを改善する革新的な方法を顧客に与えます。 さらに、ホットスポットを作り出す条件は設計過程 - それに続くデザインを改善することに戻って入れることができます。 これは今日の急速に変化するの重大な利点、高組合せチップ製造操作です。

「製品開発のサイクルがより短く、より短くなると同時に、ゲームは収穫の最大化から収穫の傾斜路に変更しました」、 Ronen Benzion、副大統領および応用プロセス診断および制御事業体の総務部長を言いました。 「マグマが付いている私達の草分け的な功績タイムに収入を販売し、減らすために彼らの新製品を促進するのを助けます私達の顧客が」。は

「litho の修飾の障害物を急速に克服する機能なしで 22nm デザインは非常に時間のかかり、大量生産に持って来ること高い」マグマのすてきな分析の事業体の Ankush Oberai、総務部長および副大統領を言いました。 「応用高度の欠陥の点検および検討システムとマグマの CAD ベースの分析の技術を結合することによって、私達はデザインサイクルを圧縮し、未来の製品の生成のための学習を加速してもいいです」。

ソース: http://www.appliedmaterials.com/

Last Update: 12. January 2012 18:51

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