Posted in | Nanoanalysis

Integratie van Technologie van de Analyse van het Magma de CAD-Gebaseerde met de Toegepaste Geavanceerde Systemen van de Inspectie

Published on March 1, 2011 at 2:01 AM

De Toegepaste Materialen, de Automatisering van het Ontwerp van Inc. en van het Magma, Inc. kondigden vandaag aan dat zij CAD van het Magma (ontwerp met computer) - gebaseerde navigatie en opbrengstanalysesoftware met Toegepaste geavanceerde inspectiesystemen hebben geïntegreerd.

Deze unieke combinatie ontwerp en productiehulpmiddelen heeft lithografiekwalificatie en betere spaanderopbrengsten bij veelvoudige klanten voor de ontwikkeling en de productie van geavanceerde technologieknopen versneld.

De „introductie van op CAD-Gebaseerde inspectietechnologie voor heeft tekort analyse en controle bij GLOBALFOUNDRIES Fab 1 de efficiency van het tekortbeheer verbeteren helpen en cyclustijd voor procesoptimalisering verminderen,“ bovengenoemde Remo Kirsch, manager van de Vrije Productie van de Verontreiniging bij GLOBALFOUNDRIES Fab 1 in Dresden, Duitsland. „Zowel baseren onze productie als ontwikkelingslijnen zich nu op deze technologie om de kwaliteit van het waarborgproces en opbrengststabiliteit te helpen.“

Aangezien de apparateneigenschappen krimpen, wordt bereiken van aanvaardbare opbrengsten meer en meer uitdagend. De Complexe interactie tussen procesvoorwaarden en ontwerp produceert „hete vlekken“ - gebieden waar het afgedrukte patroon van de ontwerpbedoeling afwijkt - die moet worden geëlimineerd alvorens een spaander in productie kan gaan. Het Integreren het ontwerp en de inspectiegegevens in real time voorzien klanten van een innovatieve manier om hete vlekken in een productiemilieu te identificeren en hun proces van de productkwalificatie te verbeteren. Bovendien de voorwaarden dat de opbrengs hete vlekken terug naar het ontwerpproces kunnen worden gevoed - verbeterend verdere ontwerpen. Dit is een kritieke voordeel halen uit snel veranderend van vandaag, de vervaardigingsverrichtingen van de hoog-mengelingsspaander.

„Aangezien de cycli van de productontwikkeling korter en korter worden, is het spel van opbrengstmaximalisering veranderd om helling op te brengen,“ bovengenoemde Ronen Benzion, ondervoorzitter en algemene manager van de Toegepaste Diagnostiek van het Proces en Van de Bedrijfs Controle Eenheid. „Ons groundbreaking werk met Magma zal onze klanten hun nieuwe producten verzenden aan markt helpen en tijd-aan-opbrengst verminderen.“

„Zonder de capaciteit om de wegversperringen van de lithokwalificatie te overwinnen snel, 22nm zullen de ontwerpen om aan volumeproductie uiterst tijdrovend en duur zijn te brengen,“ bovengenoemde Ankush Oberai, algemene manager en ondervoorzitter van Van de Bedrijfs Analyse van Fab van het Magma Eenheid. „Door op CAD-Gebaseerde de analysetechnologie van het Magma met Toegepaste geavanceerde van het tekortinspectie en overzicht systemen te combineren, kunnen wij ontwerpcycli samenpersen en het leren voor toekomstige productgeneraties versnellen.“

Bron: http://www.appliedmaterials.com/

Last Update: 12. January 2012 18:42

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit