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Integração da Tecnologia CAD-Baseada da Análise do Magma com Sistemas de Inspecção Avançados Aplicados

Published on March 1, 2011 at 2:01 AM

Aplicado Materiais, Inc. e Magma Projecto Automatização, Inc. anunciaram hoje que integraram o CAD do Magma (desenhos assistidos por computador) - navegação baseada e rendem o software de análise com sistemas de inspecção avançados Aplicados.

Esta combinação original de ferramentas do projecto e da fabricação acelerou a qualificação da litografia e a microplaqueta melhorada rende em clientes múltiplos para a revelação e a produção de nós da tecnologia avançada.

“A introdução de tecnologia CAD-baseada da inspecção para a análise de defeito e de monitoração em GLOBALFOUNDRIES 1 Fabuloso ajudou a melhorar a eficiência da gestão do defeito e para reduzir o tempo de ciclo para a optimização de processo,” disse os Kirsch de Remo, gerente da Fabricação Livre da Contaminação em GLOBALFOUNDRIES 1 Fabuloso em Dresden, Alemanha. “Nossas linhas da produção e da revelação confiam agora nesta tecnologia para ajudar a garantir a qualidade do processo e a render a estabilidade.”

Enquanto as características do dispositivo encolhem, conseguir rendimentos aceitáveis torna-se cada vez mais desafiante. As interacções Complexas entre condições de processo e projecto produzem “hot spot” - áreas onde o teste padrão impresso se afasta da intenção de projecto - que deve ser eliminada antes que uma microplaqueta possa entrar na produção. Os dados de Integração da inspecção do projecto e do tempo real fornecem clientes uma maneira inovativa de identificar hot spot em um ambiente de produção e de melhorar seu processo da qualificação do produto. Além, as circunstâncias que produzem hot spot podem ser alimentadas de volta ao processo de projecto - melhorar projectos subseqüentes. Este é um benefício crítico em de mudança rápida de hoje, operações da fabricação da microplaqueta da alto-mistura.

“Enquanto os ciclos de desenvolvimento de produtos se tornam mais curtos e mais curtos, o jogo mudou do máximo do rendimento à rampa do rendimento,” disse Ronen Benzion, vice-presidente e director geral de Diagnósticos do Processo e de Unidade de Negócios Aplicados do Controle. “Nosso trabalho inovador com Magma ajudará nossos clientes a apressar seus produtos novos para introduzir no mercado e reduzir o tempo-à-rendimento.”

“Sem a capacidade para superar ràpida cortes de estrada da qualificação do litho, os projectos 22nm serão extremamente demorados e caro trazer à produção de volume,” disse Ankush Oberai, director geral e vice-presidente da Unidade de Negócios Fabuloso da Análise do Magma. “Combinando a tecnologia CAD-baseada da análise do Magma com os sistemas avançados Aplicados da inspecção e da revisão do defeito, nós podemos comprimir ciclos de projecto e acelerar a aprendizagem para as gerações futuras do produto.”

Source: http://www.appliedmaterials.com/

Last Update: 12. January 2012 18:20

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