Site Sponsors
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD
Posted in | Nanoanalysis

Интеграция CAD-технологии анализа Магма с Advanced Systems прикладной в Инспекции

Published on March 1, 2011 at 2:01 AM

Applied Materials, Inc и Magma Design Automation, Inc объявила сегодня, что у них есть интегрированные CAD Magma (в системы автоматизированного проектирования)-навигации и программным обеспечением выхода анализа с передовыми системами прикладной в инспекции.

Это уникальное сочетание дизайна и изготовления инструментов ускорился квалификации литографии и повышение урожайности чип на нескольких клиентов для разработки и производства передовых технологий узлов.

"Внедрение САПР основе инспекции технологии для анализа дефектов и мониторинга на GLOBALFOUNDRIES Fab 1 помогла повысить эффективность управления дефектами и сократить время цикла для оптимизации процесса", сказал Ремо Кирш, менеджер Загрязнение Бесплатный Производство на Fab 1 GLOBALFOUNDRIES в Дрездене, Германия . "Обе наши производства и развития линии теперь полагаться на эту технологию, чтобы помочь гарантировать качество процесса и стабильности урожайности».

Как устройство имеет усадку, достижение приемлемой доходности становится все более сложной задачей. Комплекс взаимодействий между условий процесса и дизайна производит "горячие точки" - районы, где набивным рисунком отклоняется от проектного замысла, - которые должны быть устранены до того, как чип может пойти в производство. Интеграция дизайна и данных в реальном времени инспекция предлагает клиентам новый способ для выявления горячих точек в производственной среде, и повышения их квалификации продукции процесса. Кроме того, условия, которые производят горячих точках может подаваться обратно в процесс проектирования - повышение последующих конструкций. Это очень важный выгоду в быстро меняющемся сегодняшнем высоком сочетание операций чипов.

"Как циклов разработки продуктов становится короче и короче, игра изменилась с выходом максимизации уступить рампы", сказал Ронен Бенцион, вице-президент и генеральный менеджер процессов диагностики и прикладной блок управления бизнес. "Наши сногсшибательные работы с Magma поможет нашим клиентам ускорить их новых продуктов на рынок и сократить время выхода на доходы".

«Без умения преодолевать препятствия лито квалификации быстро, 22 нм конструкций будет чрезвычайно трудоемким и дорогим, чтобы довести до объемов производства", сказал Ankush Oberai, генеральный менеджер и вице-президент по Fab Группы анализа бизнес Магма в. "Объединив CAD-анализа на основе Магма технологию с передовыми дефект прикладной это проверка и пересмотр системы, мы можем сжать дизайн циклов и ускорить обучение для будущих поколений продукта."

Источник: http://www.appliedmaterials.com/

Last Update: 3. October 2011 11:14

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit