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Posted in | Nanoanalysis

Magma的CAD为基础的分析技术集成与应用的先进的检测系统

Published on March 1, 2011 at 2:01 AM

应用材料公司和Magma设计自动化公司今天宣布,他们已经集成了Magma的CAD(计算机辅助设计)为基础的导航和良率分析软件与应用先进的检测系统。

这独特的设计和制造工具结合加速了多个客户的开发和生产先进的技术节点的光刻技术资格和提高芯片产量。

GLOBALFOUNDRIES公司是在德国德累斯顿的晶圆一厂,无污染制造经理圣雷莫基尔希说:“基于CAD的缺陷分析和监测一厂已帮助改善缺陷的管理效率,降低流程优化的周期时间GLOBALFOUNDRIES的检测技术的引进,” 。 “现在我们的生产和开发线,依靠这项技术,以帮助保证过程的质量和产量的稳定。”

随着设备功能的缩小,实现可接受的收益率变得越来越具有挑战性。工艺条件和设计之间复杂的相互作用产生的“热点” - 印花图案设计意图相背离的地方 - 它必须被淘汰前一个芯片,可以进入生产。集成设计和实时检测数据,为客户提供了一种创新的方式,以确定在生产环境中的热点,并提高其产品的认证过程。此外,热点可以反馈到设计过程中产生的条件 - 改善后续设计。这是一个关键的好处在当今瞬息万变,高度混合芯片制造业务。

,副总裁和应用的过程诊断和控制业务部总经理Ronen Benzion“,说:”随着产品开发周期越来越短,从收益率的最大化改变游戏良率。 “我们与Magma的开创性的工作将帮助我们的客户加快新产品推向市场,减少收入。”

“如果没有能力迅速克服光刻资格路障,22nm的设计将是非常耗时和昂贵批量生产带来的,Ankush Oberai,总经理和岩浆的Fab分析业务部副总裁说。” “Magma的CAD为基础的分析技术相结合,应用先进的缺陷检测和审查制度,我们可以压缩设计周期,加快学习为未来几代产品。”

来源: http://www.appliedmaterials.com/

Last Update: 6. November 2011 14:36

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