कैमरून चाय
सैन जोस आधारित Novellus सिस्टम सदिश एक्सेल अपने सदिश लाइन के लिए जोड़ा गया है. यह एक मॉड्यूलर प्रणाली है कि लक्ष्य उन्नत नोड्स ढांकता हुआ फिल्म प्रसंस्करण प्रसार मुद्दों की तरह, की जरूरत है. यह एक अंतरफलक fabricating दृष्टिकोण है कि आर सी देरी को कम कर देता है. यह नई सामग्री की ज़रूरत नहीं है के लिए पीछे के अंत (BEOL) लाइन एकीकरण करने के लिए जोड़ा जा करता है.
जब अंतर धातु ढांकता हुआ पदार्थ (आईएमडी) के एक 2.6 या अधिक की निरंतर ढांकता हुआ प्रदर्शन, एक में सीटू अमोनिया या हाइड्रोजन के साथ प्लाज्मा उपचार के लिए तांबे ऑक्साइड परत और रासायनिक यांत्रिक planarization (सीएमपी को नष्ट करने से ढांकता हुआ प्रसार बाधा बयान में मदद करने के लिए प्रयोग किया जाता है ) घोल से अवशेषों.
'Novellus सदिश एक्सेल
झरझरा, 28nm नोड पर अल्ट्रा कम कश्मीर (ULK) पदार्थों कार्बन नुकसान के लिए असुरक्षित फिल्में बनाने के लिए जब में स्वस्थानी प्लाज्मा से अवगत कराया. निरंतर ढांकता हुआ में वृद्धि भी होती है. इन मुद्दों का समाधान करने के लिए, कंपनी के एक दूरदराज के पूर्व उपचार प्लाज्मा (स्पष्ट) मॉड्यूल और एक दोहरी पूर्व गर्मी और पूर्व उपचार वर्णक्रमीय विकिरण मॉड्यूल (LUMIER) विकसित की है
इस मंच में अलग आवृत्तियों के लैंप की एक किस्म के साथ प्रयोग किया जा सकता है. सूचना इकट्ठा भी पता चलता है कि पूर्व उपचार विकल्प के लिए तांबे ऑक्साइड और सीएमपी अवशेषों को हटाने में मदद है. एक सामान्य प्लाज्मा में सीटू उपचार का उपयोग कर परीक्षण से मैचों के परिणाम के नीचे प्रसार परतों के लिए बाधा के आसंजन ताकत. सदिश Excel एकीकृत प्रक्रिया समाई कम कर देता है. शून्य क्षति प्रक्रिया BEOL ढांकता हुआ ढेर जोड़ने की जरूरत के बिना आपस आर सी देरी में कमी में मदद करता है.
PECVD मॉड्यूल वफ़र करने वाली वफ़र के लिए एक बहु स्टेशन अनुक्रमिक (MSSD) बयान, भीतर - वफ़र और पुन: उपयोग बिंदु से बिंदु कार्यरत हैं. मंच एक छोटे पदचिह्न सदिश एक्सप्रेस के लिए संगत है.
स्रोत: http://www.novellus.com/