Site Sponsors
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
Posted in | Nanoelectronics

Halvledaren Loadports Förhöjer Hygien och Kapacitet

Published on March 19, 2011 at 5:34 AM

Vid Cameron Chai

Kalifornien-Baserat Korsa Automation har för en tid sedan avtäckt en spänna av lämpligt standart mekaniskt har kontakt (SMIF) system för loadport (LPT) på tradeshowen SEMICON i Kina.

Lösningarna är passande för öppen kassett processaa 200mm, metrology, och undersökning bearbetar. De är kosta-effektiva förbättringar av non-SMIF bearbetar till SMIF. Detta gör omställningen från existerande 200mm lättheter för halvledareproduktion lättare på teknologiknutpunkter mindre än 180nm.

De tre konfigurationerna uppsätta som mål OEM bearbetar konfigurationer med komplex kassettlandning arrangerar. SMIFEN-LPT Tr är ett rotationshuvud som låter kassetter förläggas i envinkelrät metod. SMIFEN-LPT Tx levererar kassetterna till flyttningen i en sidoriktning att lösa smala kassett-till-kassett utrymmetvång. SMIFEN-LPT Ty presenterar en offset beväpnar som har smala rumsöppningar. Det är också möjligheten som integrerar dessa särdrag in i en ström SMIF-LPT. Alla lösningar ser till en förhöjd partikelkapacitet för Class 1 kapacitet i hygieniskt omge för Klassificera 100.

Källa: www.crossinginc.com/,

Last Update: 27. January 2012 02:39

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit