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深紫外光的激光光束,幫助在22納米的踪跡顆粒

Published on March 28, 2011 at 2:43 AM

由Cameron灣仔

應用材料公司引進的技術,來分析,在22納米和表現不佳的內存和邏輯芯片互連。

應用 DFinder解決方案是一個暗場設備,芯片製造商使用的深深紫外激光器。它可以跟踪納米粒子上的圖案晶圓產量高。它可以節省 40%的成本。

深紫外激光束可以幫助跟踪顆粒下降到40nm的尺寸在22nm的。放牧角度的視覺課程和全極化監測分離顆粒從製造晶片的格局。這將有助於查明,限制生產的顆粒。它也沒有跟踪不正確的顆粒。可以識別模式和缺陷,以減少時間和總體成本之間的差異。

Ronen Benzion,副總裁兼總經理應用的工藝診斷和控制業務部,該系統已在努力旨在解決未來版本的故障狀態。它是適用於代工和記憶體的發展和建設。

來源: http://www.appliedmaterials.com/

Last Update: 3. October 2011 02:58

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