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Endura AVENIR प्लेटफार्म 22nm ट्रांजिस्टर संपर्क वृद्धि

कैमरून चाय

एप्लाइड मैटेरियल्स हाल ही में अपनी एप्लाइड Endura AVENIR आरएफ PVD निकल प्लैटिनम मिश्र धातु (NiPt) के बयान को शामिल करने के लिए, 22nm नोड प्रौद्योगिकी ट्रांजिस्टर संपर्कों स्केलिंग वृद्धि मंच के आवेदन करने के लिए जोड़ा गया है.

AM Endura AVENIR आरएफ PVD मंच

NiPt फिल्मों के प्रदर्शन को बढ़ाने, लेकिन यह उच्च पहलू अनुपात (हरियाणा) के तल पर एक अवशेषों पत्ते. AVENIR लगातार संपर्क सहिष्णुता और अधिकतम उत्पादन बचाता है. यह एक लागत कुशल तरीके में गहरी, हर संपर्क छेद में अधिक से अधिक 50% के नीचे कवरेज बचाता है.

Prabu राजा, उपाध्यक्ष और धातु बयान उत्पाद प्रभाग के राष्ट्रपति जनरल मैनेजर, प्रौद्योगिकी chipmakers करने के लिए कठिन है, कम प्रतिरोध तेजी से निर्माण के लिए ट्रांजिस्टर संपर्कों को विकसित करने के लिए एक सुरक्षित तरीका प्रदान करता है. यह विभिन्न तर्क और फाउंड्री परिदृश्यों में संपर्क अनुप्रयोगों का लाभ होगा.

यह Endura बढ़ रेडियो आवृत्ति है कि 2010 में शुरू किया गया था के साथ एक PVD प्रौद्योगिकी में एम्बेडेड है के लिए उच्च प्रदर्शन तर्क समाधान के साथ धातु गेट ट्रांजिस्टर प्रौद्योगिकी गठबंधन. यह सुविधा डेवलपर्स स्लिम, 30nm से कम की एक व्यास के साथ गहरे संपर्क छेद के निचले अंत में लगातार NiPt शीट जमा करने के लिए अनुमति देता है. यह सुविधा कम संपर्क सहिष्णुता और अधिकतम ट्रांजिस्टर प्रदर्शन के लिए आदर्श है.

स्रोत: http://www.appliedmaterials.com

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