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Conformal प्लाज्मा तीन आयामी ट्रांजिस्टर के लिए डोपिंग

कैमरून चाय

एप्लाइड Centura Conforma एप्लाइड मैटेरियल्स द्वारा हाल ही में शुरू की प्रणाली, Conformal प्लाज्मा डोपिंग (सीपीडी प्रौद्योगिकी सुविधाएँ.

इस तकनीक में मदद करता है डिजाइनरों तर्क और स्मृति चिप्स में तीन आयामी डिजाइन विकसित. यह उच्च खुराक, एक वैक्यूम डिब्बे में लगातार throughput के डोपिंग के लिए में स्वस्थानी सफाई के साथ ऊर्जा कुशल डोपिंग प्रदान करता है. स्वच्छ, चापलूसी नहीं डोपिंग अपने निहित डिजाइन बरकरार रखती है.

सुंदर राममूर्ति, फ्रंट अंत उत्पाद व्यवसाय इकाई के एप्लाइड मैटेरियल्स के उपाध्यक्ष और सामान्य प्रबंधक का कहना है कि सुविधाओं के दोनों प्रारंभिक और उच्च मात्रा उत्पादन में इसके उपयोग की अनुमति है, और दोनों planar और तीन आयामी संरचना.

कंपनी की प्रौद्योगिकी एक सौम्य, ऊर्जा कुशल प्रक्रिया है कि जटिल तीन आयामी चिप्स से अधिक सुसंगत डोपिंग की सुविधा प्रदान करता है. यह एम्बेडेड शामिल RTP साथ पूर्व स्वच्छ प्लाज्मा एकीकृत दृश्यों के लिए एक ही निर्वात प्रणाली के भीतर पानी रखना. यह संसाधित वेफर्स खतरनाक अवशेषों से छुटकारा करने की अनुमति देता है.

FinFET तर्क, ऊर्ध्वाधर गेट घूंट और ऊर्ध्वाधर नंद फ्लैश मेमोरी सरणियों के रूप में इस तरह के अनुप्रयोगों के लिए उपयुक्त समाधान है.

स्रोत: http://www.appliedmaterials.com/

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