Posted in | Bionanotechnology

Conformal פלזמה סימום תלת ממדי עבור טרנזיסטורים

Published on March 28, 2011 at 3:05 AM

לפי קמרון חי

Centura יישומית Conforma מערכת שהושק לאחרונה על ידי אפלייד מטריאלס, תכונות Conformal פלזמה סימום (טכנולוגיה עלות לכל יום.

טכנולוגיה זו מסייע למעצבים לפתח תלת ממדי עיצובים בלוגיקה שבבי זיכרון. הוא מציע מינון גבוה, סימום אנרגיה יעילה עם ניקוי in-situ בתא אחד ואקום עבור סימום תפוקה עקבית. , סימום טהור ונקי שלה שומרת על עיצוב הטבועה בו.

סונדר Ramamurthy, סגן נשיא ומנהל כללי של יחידת המוצרים Front End עסקי ב-Applied Materials אומר תכונות לאפשר את השימוש בו לייצור הן הראשוני בנפח גבוה, ושניהם מבנים מישוריים תלת ממדי.

הטכנולוגיה של החברה מציעה הליך עדין, צריכת אנרגיה יעילה המאפשרת סימום עקבי במשך שלושה שבבי מסובך ממדי. היא משלבת מוטבע פלזמה מראש נקי עם RTP לחשל במערכת ואקום זהה עבור רצפים משולב. זה מאפשר ופלים מעובד להיפטר שאריות מסוכנים.

הפתרון הוא מתאים ליישומים כגון ההיגיון FinFET, אנכי שער DRAM ו-NAND אנכי מערכי זיכרון פלאש.

מקור: http://www.appliedmaterials.com/

Last Update: 6. October 2011 14:15

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit