キャメロンチャイによって
最近アプライドマテリアルズが立ち上げた応用Centura配座のシステムでは、等角プラズマドーピング（CPD技術を採用しています。
この技術は、設計者はロジックとメモリチップの三次元設計を開発するのに役立ちます。それは、一貫したスループットのドーピング用の真空室でのin - situクリーニングと高用量、エネルギー効率的なドーピングを提供しています。そのきれいな、純粋なドーピングは、その本質的なデザインを保持。
サンダーラママーシー、副社長兼アプライドマテリアルズのフロントエンドプロダクツビジネスユニットのゼネラルマネージャーの機能は、両方の初期と量産での使用を許可し、そして両方平面と立体構造を言います。
同社の技術は、複雑な三次元の個以上のチップを一貫してドーピングを容易に優しく、エネルギー効率的な手順を提供しています。それは、RTPとプリクリーンプラズマが統合されたシーケンスに同じ真空システム内でアニール埋め込ま組み込まれています。これは、処理されたウェーハは、危険な残留物を取り除くことができます。
解決策は、FinFETのロジック、垂直ゲートDRAMと垂直NANDフラッシュメモリアレイなどのアプリケーションに適しています。
ソース： http://www.appliedmaterials.com/