Vistec Litografi, Inc., en førende leverandør af elektronstråle litografi systemer er glade for at annoncere levering og succesfuld installation af EBPG5000pES Litografi systemet på det nyoprettede Melbourne Center for nanofabrikation (MCN) i Australien. MCN skal foretage forskning i områder af nanostrukturer og en lang række andre applikationer også forbundet med det nærliggende australske Synchrotronbestrålingscenter.
MCN er et samarbejde initiativ mellem den victorianske og forbundsregeringen, Commonwealth Scientific og Industrial Research Organisation (CSIRO), Monash University, University of Melbourne, Latrobe University, Deakin University, Royal Melbourne Institute of Technology og Swinburne University.
"Vores institut fordelene fra en af de mest magtfulde nano-teknologi instrumenter", sagde Doctor Abid Khan, seniorforsker strateg og tidligere direktør for Monash Institut for Nanoscience og Fremstilling. "Denne investering sikrer, at vi forbliver på forkant med nano-forskningen i hele det næste årti, og i mange henseender, anlægget er døren til yderligere succes for ingeniører og forskere hele landet."
Den EBPG5000pES er baseret på pålidelige og gennemprøvede systemarkitektur.
Dens 100kV elektron-optik giver et spot størrelse ned til <2.2nm, som gør det muligt nano-litografi strukturer mindre end 8nm at være rutinemæssigt genereres. Systemet omfatter en interaktiv grafisk brugergrænseflade (GUI), der giver brugervenlighed til diverse, flerbruger, University lignende miljøer.
På grund af disse funktioner og sin høje grad af fleksibilitet og brugervenlig grænseflade, er EBPG Serie værdsat over hele verden i de førende forskningscentre og universiteter med mere end 80 afsendt systemer.
Maskinen vil hjælpe MCN at udvikle nye teknologier. "Vi vil være i stand til at skrive og etch funktioner på flader i en meget lille størrelse. Denne teknik bruges til applikationer såsom mikro-texturering af overflader, fremstilling af mikro-og nano-fluidisk enheder og x-ray optiske elementer,"
Dr. Khan sagde.
Rainer Schmid, General Manager hos Vistec Litografi Inc., kommentarer om den vellykkede Kunden Acceptance Test: "Vi er stolte over, at alle test er blevet udført med succes på meget kort tid, og vi nu kan henvise til vores første EBPG system i Australien. " Efter at have modtaget adskillige EBPG ordrer inden for det seneste år, de seneste evaluering viser tydeligt, at Vistec produkt familie er det foretrukne system for kravene til universiteter og forskningsinstitutioner. Schmid: ". I det kommende år vil vi gerne fortsætte vores positive udvikling og yderligere styrke vores globale position på markedet"