Vistec Litografi, Inc pemasok terkemuka sistem Litografi Berkas Elektron dengan bangga mengumumkan pengiriman dan instalasi sukses dari sistem Litografi EBPG5000pES di Pusat Melbourne yang baru didirikan untuk Nanofabrication (MCN) di Australia. MCN akan melakukan penelitian di bidang nano dan berbagai aplikasi lain juga terkait dengan Synchrotron Australia di dekatnya.
MCN merupakan inisiatif kolaborasi antara Victoria dan Pemerintah Federal, Ilmiah dan Industri Persemakmuran Penelitian Organisasi (CSIRO), Monash University, University of Melbourne, LaTrobe University, Deakin University, Royal Melbourne Institute of Technology dan Swinburne University.
"Kami lembaga manfaat dari salah satu instrumen nano-teknologi yang paling kuat", kata Dokter Abid Khan, Penelitian Strategist Senior dan mantan Direktur Institut untuk nanosains Monash dan Industri. "Investasi ini memastikan bahwa kita tetap berada di tepi pemotongan nano-penelitian di seluruh dekade berikutnya dan dalam banyak hal, fasilitas adalah pintu keberhasilan lebih lanjut untuk insinyur dan ilmuwan nasional."
Para EBPG5000pES didasarkan pada arsitektur sistem yang handal dan sudah terbukti.
100kV yang elektron-optik menyediakan ukuran spot turun ke <2.2nm, yang memungkinkan litografi nano-struktur yang lebih kecil dari 8nm secara rutin dihasilkan. Sistem ini menggabungkan antarmuka pengguna grafis interaktif (GUI) yang menyediakan kemudahan penggunaan bagi beragam, multiuser, jenis lingkungan Universitas.
Karena fitur ini dan derajat tinggi dari fleksibilitas dan user-friendly interface, Seri EBPG dihargai di seluruh dunia dalam memimpin Pusat Penelitian dan universitas dengan lebih dari 80 sistem dikirim.
Mesin akan membantu MCN untuk mengembangkan teknologi baru. "Kami akan mampu menulis dan etch fitur pada permukaan dalam ukuran sangat kecil. Teknik ini digunakan untuk aplikasi seperti mikro-texturing permukaan, pembuatan mikro dan nano-fluidic perangkat dan x-ray elemen optik,"
Dr Khan mengatakan.
Rainer Schmid, General Manager di Vistec Litografi Inc, komentar pada Test Penerimaan Pelanggan yang sukses: "Kami bangga, bahwa semua tes telah dilakukan dengan sukses dalam waktu yang sangat singkat dan kita sekarang dapat merujuk ke sistem EBPG pertama kami di Australia. " Setelah menerima pesanan beberapa EBPG dalam satu tahun terakhir, evaluasi terbaru jelas menunjukkan bahwa keluarga produk Vistec adalah sistem pilihan untuk kebutuhan Universitas dan lembaga penelitian. Schmid: ". Pada tahun mendatang kami ingin melanjutkan perkembangan positif kami dan lebih memperkuat posisi pasar kami di seluruh dunia"