Vistec de Lithografie, Inc. een belangrijke leverancier van De systemen van de Lithografie van de Elektronenstraal is pleased om de levering en de succesvolle installatie van het systeem van de Lithografie EBPG5000pES op het onlangs gevestigde Centrum van Melbourne voor Nanofabricatie (MCN) in Australië aan te kondigen. MCN zal onderzoek op het gebied van nanostructures en een brede waaier van andere toepassingen ook verbonden aan het nabijgelegen Australische Synchotron uitvoeren.
MCN is een samenwerkingsinitiatief tussen de Victoriaanse en Federale Overheid, de Organisatie van het Onderzoek van de Commonwealth Wetenschappelijke en Industriële (CSIRO), Monash Universiteit, de Universiteit van Universiteit Melbourne, LaTrobe, Universiteit Deakin, het Koninklijke Instituut van Melbourne van Technologie en Universiteit Swinburne.
„Ons instituut profiteert van één van de krachtigste nanotechnologieinstrumenten“, bovengenoemde Arts Abid Khan, de Hogere Strateeg van het Onderzoek en vroegere Directeur van het Instituut Monash voor Nanoscience en Vervaardiging. „Deze investering zorgt ervoor dat wij bij de snijkant van nano-onderzoek door het volgende decennium en in vele opzichten blijven, is de faciliteit de deuropening om succes voor nationale ingenieurs en wetenschappers te bevorderen.“
EBPG5000pES is gebaseerd op betrouwbare en goed-bewezen systeemarchitectuur.
Zijn elektron-optica 100kV verstrekt neer een vlekgrootte aan <2.2nm, die toelaat de nano-lithografie dat structuren kleiner dan 8nm uit routine worden geproduceerd. Het systeem neemt een interactief grafisch gebruikersinterface op (GUI) dat handigheid voor diverse, voor meerdere gebruikers, Universitaire typemilieu's verstrekt.
wegens deze eigenschappen en zijn hoge graad van flexibiliteit en gebruikersvriendelijke interface, wordt de Reeks EBPG gewaardeerd wereldwijd op belangrijke Onderzoekscentra en Universiteiten met meer dan 80 verscheepte systemen.
De machine zal MCN helpen om nieuwe technologieën te ontwikkelen. „Wij zullen eigenschappen op oppervlakten in een uiterst kleine grootte schrijven en kunnen etsen. Deze techniek wordt gebruikt voor toepassingen dergelijke micro-texturering van oppervlakten, vervaardiging van micro en nano-fluidic apparaten en doorlicht optische elementen,“
Dr. Khan zei.
Rainer Schmid, Algemene Manager bij Vistec Inc. van de Lithografie, commentaren op de succesvolle Test van de Goedkeuring van de Klant: „Wij zijn trots, dat alle tests met succes in een zeer korte tijd zijn uitgevoerd en wij nu naar ons eerste systeem EBPG in Australië kunnen verwijzen.“ Verscheidene orden EBPG binnen het afgelopen jaar, de recentste evaluatie wijst ontvangen hebben duidelijk erop dat Vistec de productfamilie het systeem van keus voor de behoeften van Universiteiten en de onderzoekinstituten van is. Schmid: „In het aanstaande jaar dat wij zou willen om onze positieve ontwikkeling voortzetten en verder onze marktpositie versterken wereldwijd.“