По Камерон Чай
ВИСТЕК Литография объявляет, что Австралия основе Мельбурне центр Nanofabrication (MCN) успешно установлена луч EBPG5000pES электронной литографии системы.
Новообразованной институт будет использовать систему для своей исследовательской работы по наноструктур и для развития инновационных технологий.

EBPG5000pES Литография системы
MCN была создана в результате сотрудничества между университетом Мельбурна, Содружества по научным и промышленным исследованиям (CSIRO), Латроб университет, Королевский Мельбурнский технологический институт, Университет Дикин, Суинберн университета и Викторианской и федерального правительства.
EBPG5000pES системы ВИСТЕК разработана, с надежными и состоянии современной архитектурой и функциями 100kV электронно-оптика, которая позволяет поколение нано-литографии структур с менее восьми нм размера. Графический пользовательский интерфейс является еще одной особенностью прибора, что делает их идеальными для использования в многопользовательских, разнообразной и университетов типа среды.
Старший стратег исследований в MCN, доктор Абид Хан утверждает, что институт будет польза от нанотехнологий инструмент ВИСТЕК и текущих инвестиций обещает рост вперед в нано-исследования. Доктор Хан также объясняет, что с помощью EBPG5000pES системы электронного пучка, травление и записи на поверхности может быть сделано в очень малых размеров. Этот процесс применяется для изготовления рентгеновских оптических элементов и микро-и nanofluidic устройства, микро-текстурирование поверхностей и многих других приложений.
Общая ВИСТЕК менеджер, Райнер Шмидт, комментарии, которые EBPG системы компании успешно прошел все клиента приемо-сдаточные испытания и последнего теста показывают, что продукты ВИСТЕК в литографии правильный выбор для научно-исследовательских институтов и университетов.
Источник: http://www.vistec-semi.com/