ВИСТЕК Установка электронно-лучевой литографии системы в MCN

Published on March 31, 2011 at 5:22 AM

По Камерон Чай

ВИСТЕК Литография объявляет, что Австралия основе Мельбурне центр Nanofabrication (MCN) успешно установлена ​​луч EBPG5000pES электронной литографии системы.

Новообразованной институт будет использовать систему для своей исследовательской работы по наноструктур и для развития инновационных технологий.

EBPG5000pES Литография системы

MCN была создана в результате сотрудничества между университетом Мельбурна, Содружества по научным и промышленным исследованиям (CSIRO), Латроб университет, Королевский Мельбурнский технологический институт, Университет Дикин, Суинберн университета и Викторианской и федерального правительства.

EBPG5000pES системы ВИСТЕК разработана, с надежными и состоянии современной архитектурой и функциями 100kV электронно-оптика, которая позволяет поколение нано-литографии структур с менее восьми нм размера. Графический пользовательский интерфейс является еще одной особенностью прибора, что делает их идеальными для использования в многопользовательских, разнообразной и университетов типа среды.

Старший стратег исследований в MCN, доктор Абид Хан утверждает, что институт будет польза от нанотехнологий инструмент ВИСТЕК и текущих инвестиций обещает рост вперед в нано-исследования. Доктор Хан также объясняет, что с помощью EBPG5000pES системы электронного пучка, травление и записи на поверхности может быть сделано в очень малых размеров. Этот процесс применяется для изготовления рентгеновских оптических элементов и микро-и nanofluidic устройства, микро-текстурирование поверхностей и многих других приложений.

Общая ВИСТЕК менеджер, Райнер Шмидт, комментарии, которые EBPG системы компании успешно прошел все клиента приемо-сдаточные испытания и последнего теста показывают, что продукты ВИСТЕК в литографии правильный выбор для научно-исследовательских институтов и университетов.

Источник: http://www.vistec-semi.com/

Last Update: 3. October 2011 14:47

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit