Site Sponsors
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
Posted in | Nanofabrication

Picosun to Manufacturing Novel PEALD Systems Start

Published on April 10, 2011 at 7:12 PM

Picosun Oy , Finland gevestigde wereldwijde fabrikant van state-of-the-art Atomic Layer Deposition (ALD) systemen is de productie van nieuwe gelanceerd, innovatieve plasma versterkte ALD (PEALD) systemen op basis van zeer geavanceerde, klant-bewezen "ion-vrij "remote plasma bron.

Verschillende geëxciteerde zoals zuurstof, stikstof en waterstof radicalen met nul lading kan worden gegenereerd om het bereik van de ALD-proces chemicaliën uit te breiden - in het bijzonder metaal en metaal nitride dunne films kunnen worden neergelegd bij lage temperaturen met geactiveerde soorten - en de externe bron maakt de verwerking van zelfs kwetsbaar ondergronden en delicaat apparaat structuren zonder plasma schade als gevolg van zeer lage ion tellen, maar nog altijd hoog reactieve species flux.

De roman Picoplasma source-systeem (*) kan worden gemonteerd op bestaande SUNALE ALD reactoren of het hele PEALD systeem kan worden geïnstalleerd als een compact, klein footprint afzetting eenheid van eenvoudige implementatie, een snel onderhoud en lage cost of ownership. Het systeem kan ook volledig geautomatiseerd worden door de integratie van het in het Picoplatform cluster tool met cassette-to-cassette laden via een vacuüm load lock. Een snelle matching en stabiele vermogensafgifte van de plasma-unit zorgen voor een hoge opbrengst met snelle proces snelheid en uitstekende film uniformiteit (dikte STD 1,3% met Al2O3 op silicium, gedeponeerd bij TMA en zuurstof radicalen) en conformality in diepe loopgraven tot aan AR van 48:1 . Kortom, de roman Picosplasma gereedschap verhoogt het hoogste niveau al veelzijdigheid, aanpasbaarheid en upscalability van bestaande ALD Picosun systemen.

ALD is uitgevonden door Picosun Bestuurslid dr. Tuomo Suntola in Finland in de vroege jaren zeventig. Picosun Oy is een Fins, wereldwijd opererende fabrikant van state-of-the-art ALD-systemen voor micro-en nanotechnologie toepassingen, die continuïteit van meer dan drie decennia van ALD reactor design. Picosun's SUNALE ALD-proces tools worden gebruikt door de high profile industrieën en top onderzoeksinstellingen in vier continenten en het bedrijf heeft verdelers in ca.. 30 landen. Picosun Oy is gevestigd in Espoo, zijn de productiefaciliteiten in Kirkkonummi en Amerikaanse hoofdkantoor in Detroit, Michigan. Picosun Oy is een onderdeel van Stephen Industries Inc Oy.

(*) Meerdere octrooien aangevraagd

Last Update: 9. October 2011 06:02

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit