Posted in | Nanolithography

Direkt Schreiben Sie Lithographie-Plattform, um Prototyp von Microfluidics-Einheiten Zu Entwickeln

Published on April 16, 2011 at 3:15 AM

Durch Cameron Chai

Das µPG101 von Heidelberg-Technologien ist ein benutzerfreundliches und kosteneffektiver Mikromustergenerator, der für direktes geeignet ist, schreiben Anwendungen und die Maskenherstellung der geringen Lautstärke.

Es ist für schnelles Musterstück von zweidimensionalen und dreidimensionalen Mikrostrukturen auf Substratflächen bis zu 4x4inches ideal. Es kann Auslegungen der hohen Auflösung mit Merkmalen von einem Mikron aufdecken und kennzeichnet auch ein Adreßgitter, das 40nm misst.

Die Plattform ist in STMicroelectronics' Mehr Als die Moore-Forschungs-Labors eingebaut worden, die in Agrate Brianza gelegen sind, um zu helfen, Proben von in den Anwendungen wie medizinischen Diagnosen und Labor-Auf-Chip verwendet zu werden microfluidics Einheiten herzustellen.

Heidelberg-Instrumente stellt maskless Lithographieplattformen der Präzision her. Die Anlagen sind in den Direktschreiben- und Fotomaskenprozeduren durch Universitäten und in den Industrien in MEMS, in BioMEMS, in der Nano-Technologie, in ASICS, in TFT, in den Plasmabildschirmen und in den MikroOptik anwendbar.

Quelle: http://www.st.com

Last Update: 11. January 2012 07:43

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