カメロンシェ著
ハイデルベルクの技術からの µPG101 はユーザーフレンドリーであり、直接のために適している費用有効マイクロパターン・ジェネレータはアプリケーションおよび少量マスクの作成を書きます。
それは 4x4inches まで基板の二次元および三次元微細構造の急速なサンプリングにとって理想的です。 それは 1 ミクロンの機能との高リゾリューションデザインを明らかにすることができ、また 40nm を測定するアドレス格子を特色にします。
プラットホームは STMicroelectronics に」医学の診断および実験室チップのようなアプリケーションで使用されるべき microfluidics 装置のサンプルの作成を助けるように Agrate Brianza にあるムーアの研究所より多くインストールされていました。
ハイデルベルクの器械は精密 maskless 石版印刷のプラットホームを製造します。 システムは大学によって直接執筆およびフォトマスクプロシージャおよび MEMS、 BioMEMS、 Nano 技術、 ASICS、 TFT、プラズマ・ディスプレイおよびマイクロ光学の企業で適当です。
ソース: http://www.st.com