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Posted in | Carbon Nanotubes

Graphene-Anlage, zum von Nanocarbon-Materialien Zu Entwickeln

Published on April 18, 2011 at 8:13 AM

Durch Cameron Chai

AIXTRON empfing vor kurzem eine Ordnung vom Nationalen Institut des Hoch entwickelten Industriellen Wissenschaft Und Technik (AIST) in Japan, damit eine automatisierte 300mm Anlage Schwarzer Magie für Graphene-Absetzung verwendet werden kann. Die graphene Eigenschaften machen es geeignet für Mikroelektronik- und Hochfrequenzanwendungen.

Die Ordnung wurde in das erste Viertel von 2011 gelegt, und Lieferung findet im dritten Trimester von 2011 für Einbau im AIST-SuperReinraum in Tsukuba statt. Sie wird betrieblich vom lokalen AIXTRON-Team gemacht. Die Anlage stimmte mit den zwingenden Anforderungen überein, die durch die Synthese-und ÜbergangsAnwendung von Graphene in der Kooperativen Forschungsteam-Grün Nanoelectronics-Mitte vereinbart wurden (GNC). Sie hilft sich zu entwickeln und Anwendung von Nanocarbon-Materialien. 

Nach Ansicht Dr. Ken Teo, Direktor von Nanoinstruments an AIXTRON, zeigt die Anlage einheitliche Temperatur und ein Gasliefersystem an, das einen genauen Vorläufer anbietet. Sie umfaßt das thermische in-situeinteilungssystem ARGUS. Ein automatisiertes Lenker und MultiWafer loadlock werden für das Entbinden des hohen Durchsatzes enthalten.

GNC wird durch das Finanzierungs-Programm für Welt-Führenden Innovativen R&D auf Wissenschaft Und Technik-(ERSTEM) Programm unterstützt, das Forschung und Entwicklung fördert, um Japans globale Anwesenheit in der Sozialfürsorge zu steuern.

Quelle: http://www.aixtron.com

Last Update: 11. January 2012 07:43

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