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Système de Graphene Pour Développer des Matériaux de Nanocarbon

Published on April 18, 2011 at 8:13 AM

Par Cameron Chai

AIXTRON a récent reçu une commande de l'Institut National de la Science et Technologie Industrielle Avancée (AIST) au Japon pour qu'un système robotisé de Magie Noire de 300mm soit utilisé pour le dépôt de Graphene. Les propriétés de graphene le rendent adapté pour des applications de la microélectronique et de haute fréquence.

La commande a été passée dans le premier trimestre de 2011, et l'accouchement aura lieu dans le troisième trimestre de 2011 pour l'installation dans la Salle Propre Superbe d'AIST à Tsukuba. Il sera rendu de fonctionnement par l'équipe locale d'AIXTRON. Le système était conforme aux conditions rigoureuses stipulées par l'Application de Synthèse et de Transfert de Graphene au Centre De Collaboration de Nanoelectronics de Vert d'Équipe de Recherche (GNC). Il aidera à se développer et application des matériaux de Nanocarbon. 

Selon M. Ken Teo, directeur de Nanoinstruments à AIXTRON, le système affiche la température uniforme et un système de distribution de gaz qui offre un précurseur précis. Il comprend le système de mappage thermique in-situ d'ARGUS. Un loadlock robotisé de dérouleur et de multi-disque sont comportés pour fournir le débit élevé.

GNC est supporté par le Programme du Financement pour la Monde-Principale R&D Novatrice sur le PREMIER) Programme de la Science et Technologie (qui stimule la recherche et développement pour guider la présence globale du Japon dans le bien être social.

Source : http://www.aixtron.com

Last Update: 11. January 2012 07:41

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