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Posted in | Carbon Nanotubes

Nanocarbon の文書を開発する Graphene システム

Published on April 18, 2011 at 8:13 AM

カメロンシェ著

AIXTRON は Graphene の沈殿に使用するべき自動化された 300mm のブラックマジックシステムのための日本の高度の産業科学技術 (AIST) の各国用の協会から最近順序を受け取りました。 graphene の特性はそれをマイクロエレクトロニクスおよび高周波アプリケーションのために適したようにします。

順序は 2011 年の第一四半期に置かれ、配達は筑波で AIST の極度のクリーンルームのインストールのための 2011 年の第三四半期で起こります。 それはローカル AIXTRON のチームによって操作上になされます。 システムは調査チームの緑の Nanoelectronics の共同の中心で Graphene の統合および転送アプリケーションによって規定された厳しい条件に従いました (GNC)。 それは Nanocarbon の文書のアプリケーション成長を助け。 

先生 AIXTRON の Nanoinstruments のディレクターに従ってケン Teo、システムは均一温度をおよび正確な前触れを提供するガスの投射手段表示します。 それはアルゴス in-situ 熱マップシステムを含んでいます。 自動化されたハンドラおよび複数のウエファーの loadlock は高いスループットを提供するために組み込まれます。

GNC は社会福祉の日本の全体的な存在を操縦するために研究開発を促進する科学技術の (最初) プログラムの世界一流の革新的な R & D のための資金調達プログラムによってサポートされています。

ソース: http://www.aixtron.com

Last Update: 11. January 2012 07:46

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