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開發 Nanocarbon 材料的 Graphene 系統

Published on April 18, 2011 at 8:13 AM

卡梅倫柴

AIXTRON 從先進的行業科學技術最近收到了訂單 (AIST) 國家學院在為 Graphene 證言能將使用的自動化的 300mm 不可思議系統的日本。 graphene 屬性使適用於微電子學和高頻率應用。

這個命令在第一季度安置了 2011年,并且發運在第三季度將進行 2011年安裝的在 AIST 超級潔淨室在築波。 它將由局部 AIXTRON 小組使可操作。 這個系統遵照 Graphene 的綜合和調用應用規定的嚴密需求在合作研究小組綠色 Nanoelectronics 中心 (GNC)。 它將幫助開發和 Nanocarbon 材料的應用。 

根據肯 Teo, Nanoinstruments 的主任博士在 AIXTRON 的,這個系統顯示統一溫度和提供一個準確先行者的氣體送貨系統。 它包括阿格斯原地熱量製圖系統。 一自動化的處理程序和多薄酥餅 loadlock 為提供高處理量合併。

GNC 由世界領先的創新 R&D 的資助程序支持在促進研究與開發操縱在社會保障的日本的全球存在的科學技術 (第一個) 程序。

來源: http://www.aixtron.com

Last Update: 26. January 2012 17:52

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