Site Sponsors
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D

CEA-Leti installere flere EVG redskaber på 300mm 3D Integration Fabrication Lab

Published on April 19, 2011 at 7:35 PM

VE Group (EVG), meddelte i dag, at dets mangeårige kunder og partnere, industri-førende forskningscenter CEA-Leti (Grenoble, Frankrig), har installeret flere EVG værktøjer i sin branche-først 300-mm renrum afsat til F & U og fremstilling af prototyper for 3D- integration applikationer. Mens Leti nye state-of-the-art anlæg er fokuseret på F & U og fremstilling af prototyper, vil EVG udstyr geares med et øje mod udbredt anvendelse af 3D-teknologi til high-volume applikationer.

Konkret vil EVG udstyr skal anvendes i 3D-teknologi demonstrationer for Leti globale kundebase, samt lav-volumen pilot produktion på 300-mm wafers med det endelige mål at overføre processerne til deres industrielle partnere "high-volume produktionsmiljøer.

Den EVG systemer, der skal installeres på CEA-Leti nye 300-mm 3D-line omfatte en IQ () Aligner produktion mask alignment system, en SmartView () NT højeste præcision bond tilpasning systemet, en EVG560 produktion wafer limning system og en EVG850 produktion limning systemet til direkte wafer limning. Disse litografi og emballagesystemer var specielt udvalgt til de fordele, de leverer i 3D-integration behandling. Desuden vil CEA-Leti være i stand til at udnytte EVG omfattende proces know-how i 3D integration og gennem-silicium via (TSV) fremstilling, som det institut, 3D tilbud omfatter TSVs sammen med avancerede funktioner i tilpasningen, limning, udtynding og forbindelsesledninger.

"Disse nye værktøjer giver vigtige nye funktioner til Leti og vores samarbejdspartnere," bemærkede CEA-Leti CEO Laurent Malier. "Sammen vil vi demonstrere 3D og heterogen integration teknologier på 300-mm wafers."

Paul Lindner, EV koncernens administrerende teknologi direktør, siger: "Vores langvarige partnerskab med CEA-Leti har givet betydelige fremskridt for begge selskaber, som vi har samarbejdet om nye udviklinger og gearede hinandens evner Ved at vælge vores værktøjer - inkl. Branchens eneste produktion gennemprøvede 300-mm thermo kompression wafer Bonder - for sit nye anlæg, er CEA-Leti fremme sin førende rolle som drivkraft 3D teknologi fremskridt ".

EVG arbejder ikke kun med forskningskonsortier og institutioner såsom CEA-Leti, men også med globale konsortier, herunder EMC-3D (som fokuserer på at sænke de samlede omkostninger i 3D chips), SEMI, NILCOM (Konsortiet for kommercialisering af nanoimprint litografi), NIL Østrig og MANCEF (Mikro-og Nanoteknologi kommercialisering Education Foundation). Sådanne initiativer er afgørende for at reducere det samlede F & U-omkostninger for teknologiudvikling, ifølge markeds-analysefirmaet Frost & Sullivan, som for nylig præsenterede EVG med sine 2010 Europe Product Innovation Award i nanoimprint-teknologi. Som en teknologi og markedsleder i litografi og nanoimprint litografi løsninger, er EVG godt positioneret til at fortsætte kørslen og påvirke den næste generation af 3D-integration teknologi fremskridt.

Last Update: 10. October 2011 07:49

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit