Камероном Chai
Группа EV недавно объявила что CEA-Leti включил множественные инструменты EVG в своей чистой комнате 300mm для применения внедрения научных исследований и разработки и превращаться трехмерные.
Средство будет использовать оборудование EVG для того чтобы начать технологию для массового производства трехмерных применений и изготовления малого масштаба процессов вафель 300mm соответствующих для окружающих сред массового производства.
CEA-Leti использует систему маски продукции Aligner IQ, систему выравнивания скрепления точности NT SmartView, систему связи вафли продукции EVG560 и систему связи продукции EVG850 для сразу применений выпуска облигаций вафли. CEA-Leti эксплуатирует ноу-хау EVG отростчатый в внедрении 3D и в через-кремнии через (TSV) продукцию.
EVG сотрудничает с исследовательскими группами и заведениями включая CEA-Leti и глобальные консорциумы как EMC-3D, организацию фокусируя на уменьшении трехмерных цен обломока, SEMI, NILCOM, Консорциум для Коммерциализации Литографирования Nanoimprint, НОЛИ Австрия, и Mancef (Учредительство Образования Коммерциализации Micro и Нанотехнологии). Согласно экономисту по вопросам конъюнктуры Frost & Sullivan, эта работа помогает уменьшить научные исследования и разработки в стоимостях разработки технологии. Экономист по вопросам конъюнктуры недавно удостоил EVG с своей Наградой 2010 Рационализаторства Продукта Европы в Технологии Nanoimprint.
Источник: http://www.evgroup.com/en