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Novel Tecnologia Computação Gap para Double-Side aplicações de polimento Wafer

Published on May 20, 2011 at 3:32 AM

Por Cameron Chai

Sistemas Novellus declarou recentemente que a sua subsidiária com sede na Alemanha, Peter Wolters, lançou uma tecnologia de computação romance lacuna que pode ser usado para polimento dupla face (DSP) de pastilhas de silício prime.

O romance de alta precisão de sensores e programas de software garantir o controle de qualidade extraordinária wafer e aumentar a produtividade para o sistema AC2000-P3.

Figura Novellus '1 mostra o impacto do controle do perfil diferença na medição GBIR.

DSP tecnologia vai ajudar na produção de 300 e 450 milímetros de wafers de silício nobre como seria possível alcançar tamanhos extremamente wafer plano. O tamanho da abertura da roda de polimento e acompanhamento adequado durante o polimento é crucial para determinar a espessura total dentro do wafer e variações na espessura entre duas bolachas (GBIR / TTV).

Compreender a importância de um controlo efectivo da roda de polimento durante o processo de polimento, os engenheiros da Wolters Peter combinaram vários recursos para o mais recente modelo de AC-2000P3. Medidores sem fio com maior precisão entregar sub-micron precisão durante o processo de medição. Esta tecnologia de sensor de romance tem sido integrado na placa superior control adaptativo (UPAC) plataforma de Peter Walters e oferece tempos de resposta rápida para analisar as diferenças que ocorrem durante o polimento.

O processo de polimento foi transformado com o uso de ponto final capacidade de detecção presentes no sensor sem contato. Isso garante repetido medição de espessura cada lote bolacha wafer e espessura entre lotes combinado com o mínimo de roll-off values ​​(ESFQR). A tecnologia de sensor de romance usa programa de software da companhia para determinar com precisão a espessura final do wafer. Desde que a tecnologia elimina atividades que aumentam o tempo de polimento, o rendimento do sistema é consideravelmente reforçada.

Fonte: http://www.novellus.com

Last Update: 21. October 2011 18:46

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