Site Sponsors
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
Posted in | MEMS - NEMS

EV Group Deltag med Industrial Technology Research Institute for MEMS Process Development

Published on June 2, 2011 at 9:06 AM

Af Cameron Chai

VE Group (EVG) erklærede, at det er partnering med Industrial Technology Research Institute (ITRI) for at levere avancerede produktionsteknikker for futuristisk MEMS-enheder.

I henhold til samarbejdet, har ITRI købt en EVG6200 automatiseret mask alignment system og EVG510 semi-automatiseret wafer limning system med obligations-justering og top-bund tilpasning alternativer. EVG vil bygge, ændre og optimere ITRI er wafer-niveau binding teknik, der passer til sine kunder og partnere. EVG leverer litografi og wafer limning udstyr til nanoteknologi, halvleder-og MEMS markeder.

De nye systemer fra EVG vil blive monteret på Micro Systems Technology Center i ITRI. En række af EVG wafer bonders og maske aligners allerede er monteret på dette sted, og er i øjeblikket under drift. De EVG systemer bruges til forskellige wafer-niveau limning processer, såsom metal termo kompression limning, eutektiske limning, og anodisk bonding. ITRI ​​bruger EVG510 Bonder til at behandle 200-mm MEMS wafers.

Ifølge IHS leverandører, et marked, forskning selskab, vil MEMS markedet vokser hurtigt fra 2012 gennem 2014. Nøglefaktorer for markedsudvikling omfatter anvendelse af MEMS-enheder, accelerometre, tryk sensorer og gyroskoper i forbruger-og bilindustrien mobile kommunikationsenheder.

Wafer-niveau på linje limning giver beskyttelse til minut og delikate mekanisk udstyr og anvendes til fremstilling af MEMS-enheder. Wafer-niveau på linje limning også genererer en nul-niveau pakke at lukke og indkapsle MEMS enhed hermetisk. Virksomheden tilbyder wafer bonding-systemer, der er velegnede til high-volume produktion.

Kilde: http://www.evgroup.com/en

Last Update: 19. October 2011 03:34

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit