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Posted in | MEMS - NEMS

El Grupo de EV Ensambla con el Instituto de Investigación de la Tecnología Industrial para el Revelado De Proceso de MEMS

Published on June 2, 2011 at 9:06 AM

Por Cameron Chai

El Grupo de EV (EVG) declaró que partnering con el Instituto de Investigación de la Tecnología Industrial (ITRI) para entregar las técnicas de fabricación avanzadas para los dispositivos futuristas de MEMS.

De conformidad con la colaboración, ITRI ha comprado un EVG6200 sistema automatizado de la alineación de máscara y EVG510 sistema semiautomatizado de la vinculación del fulminante con opciones en enlace de la alineación y de la alineación de la parte-parte inferior. EVG construirá, modificará y optimizará la técnica de la vinculación del fulminante-nivel del ITRI para adaptarse a sus clientes y socios. EVG suministra la litografía y el equipo de la vinculación del fulminante para la nanotecnología, el semiconductor, y los mercados de MEMS.

Los nuevos sistemas de EVG serán montados en el Centro de Tecnología Micro de Sistemas de ITRI. Varios bonders del fulminante de EVG y alineadores de la máscara se han montado en esta ubicación y están ya actualmente bajo operación. Los sistemas de EVG se utilizan para los diversos procesos de la vinculación del fulminante-nivel tales como vinculación terma de la compresión del metal, vinculación eutéctica, y vinculación anódica. ITRI utiliza el bonder EVG510 para tramitar los fulminantes de 200 milímetros MEMS.

Según SU Suppli, una compañía del estudio de mercados, el mercado de MEMS crecerá rápidamente a partir de 2012 a 2014. Los Factores claves para el revelado de mercado incluyen el uso de los dispositivos de MEMS, de los acelerómetros, de los sensores de la presión y de los giroscopios en consumidor y dispositivos de comunicación movible automotores.

la vinculación alineada Fulminante-Nivel ofrece la protección al minuto y al equipo mecánico delicado y se utiliza para fabricar los dispositivos de MEMS. la vinculación alineada Fulminante-Nivel también genera un conjunto del cero-nivel para cerrar y para encapsular el dispositivo de MEMS hermético. La compañía ofrece los sistemas de la vinculación del fulminante que son convenientes para la fabricación en grandes cantidades.

Fuente: http://www.evgroup.com/en

Last Update: 12. January 2012 16:34

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