Site Sponsors
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
Posted in | MEMS - NEMS

EV Group Bli med Industrial Technology Research Institute for MEMS Process Development

Published on June 2, 2011 at 9:06 AM

Av Cameron Chai

EV Group (EVG) erklærte at det er samarbeid med Industrial Technology Research Institute (ITRI) å levere avanserte produksjonsteknikker for futuristisk MEMS enheter.

Under betingelsene i samarbeidet, har ITRI kjøpt en EVG6200 automatisert maske justering system og EVG510 semi-automatisert wafer bonding system med bånd justering og topp-bunn justering alternativer. EVG vil bygge, endre og optimalisere ITRI sin wafer-nivå bonding teknikk som passer til sine kunder og partnere. EVG forsyninger litografi og wafer liming utstyr for nanoteknologi, halvledere, og MEMS markeder.

De nye systemene fra EVG vil bli montert på Micro Systems Technology Center of ITRI. En rekke EVG wafer bønder og maske aligners har allerede montert på dette stedet, og er for tiden under drift. Den EVG systemer brukes for ulike wafer-nivå bonding prosesser som for eksempel metall termo komprimering bonding, eutektisk liming, og anodisk bonding. ITRI ​​bruker EVG510 bønder til å behandle 200-mm MEMS wafere.

Ifølge IHS leverandørene, en markedsundersøkelse selskapet, vil MEMS markedet vokse raskt fra 2012 gjennom 2014. Viktige faktorer for markedsutvikling inkluderer bruk av MEMS enheter, akselerometre, trykksensorer og gyroskoper i forbruker-og bilindustrien mobile kommunikasjonsenheter.

Wafer-nivå justert binding gir beskyttelse til minutt og delikat mekanisk utstyr og brukes til å produsere MEMS enheter. Wafer-nivå justert bonding genererer også et null-nivå pakke å lukke og kapsle MEMS enhet hermetisk. Selskapet tilbyr wafer bonding systemer som er egnet for høy-volum produksjon.

Kilde: http://www.evgroup.com/en

Last Update: 23. October 2011 21:18

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit