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EV Grupo Junte-se a Industrial Technology Research Institute for MEMS Desenvolvimento de Processos

Published on June 2, 2011 at 9:06 AM

Por Cameron Chai

EV Group (EVG) declarou que é parceria com o Industrial Technology Research Institute (ITRI) para entregar as técnicas de fabricação avançadas para dispositivos MEMS futurista.

Sob os termos da colaboração, ITRI comprou um sistema de alinhamento automático EVG6200 máscara e EVG510 semi-automatizado sistema de colagem wafer com alinhamento de títulos e alternativas de cima para baixo o alinhamento. EVG vai construir, modificar e otimizar a técnica de colagem ITRI nível de wafer para atender seus clientes e parceiros. EVG suprimentos e equipamentos de litografia wafer bonding para os mercados de nanotecnologia, semicondutores e MEMS.

Os novos sistemas de EVG será montado no Centro de Tecnologia de Sistemas Micro do ITRI. Uma série de wafer EVG bonders e alinhadores máscara já foram montados neste local e estão atualmente em operação. Os sistemas EVG são usados ​​para vários processos de nível de wafer de ligação tais como metal de ligação de compressão termo, o vínculo eutética, e colagem anódica. ITRI ​​usa o bonder para processar wafers EVG510 200 mm de MEMS.

De acordo com a IHS Suppli, uma empresa de pesquisa de mercado, o mercado de MEMS irão crescer rapidamente a partir de 2012 até 2014. Fatores chave para o desenvolvimento de mercado incluem o uso de dispositivos MEMS, acelerômetros, sensores de pressão e giroscópios no consumo e automotivo dispositivos de comunicação móvel.

Nível de wafer de ligação alinhada oferece proteção para o equipamento minutos e delicada mecânica e é utilizada para a fabricação de dispositivos MEMS. Nível de wafer de ligação alinhados também gera um pacote de nível zero para fechar e encapsular o dispositivo MEMS hermeticamente. A empresa oferece sistemas de wafer de ligação que são adequados para fabricação de alto volume.

Fonte: http://www.evgroup.com/en

Last Update: 17. October 2011 13:51

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