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Posted in | MEMS - NEMS

Neue Tiefe Silikon-Ätzungs-Technologie für MEMS-Anwendungen

Published on June 6, 2011 at 2:13 AM

Oxford-Instrumente kündigt die Produkteinführung von PlasmaPro Estrelas100, neue tiefe Silikonätzungstechnologie an, die entwickelt werden, um Industrieführende Prozessleistung und die Lieferung von flexiblen Lösungen zum MEMS-Markt zu entbinden.

Mit dem R&D-Markt im Verstand, bietet PlasmaPro Estrelas100 das entscheidende in der Prozessflexibilität an. Nano-- und Mikrozellen können als die Kleinteile verwirklicht werden ist konstruiert worden mit der Fähigkeit, Bosch und cryo Ätzungstechnologien in der gleichen Kammer auszuführen. Von den glatten Seitenwandprozessen zu den hohen Ätzungskinetikprozessen, ist das PlasmaPro Estrelas100 entwickelt worden, garantierend, dass die Vielzahl von MEMS-Anwendungen ohne den Bedarf erzielt werden kann, die Kammerkleinteile zu ändern.

Als die Entwicklung und die Kommerzialisierung von neuen Elektrischen Mechanischen Mikroanlagen (MEMS) wird eine Wirklichkeit, traditionelle Einheiten wie Beschleunigungsmesser, Kreisel und Mikrophone fahren fort, erhöhte Annahme in vielen zu sehen Unterhaltungselektronik, Bildschirmanzeigen und Automobilanwendungen. MEMS kann eine Lösung zur Verfügung stellen, in der es eine Anforderung gibt, damit eine Einheit oder ein Fühler miniaturisiert werden kann. Die Einheiten, die in der R&D-Phase auftauchen, umfassen das Energieernten; Lautsprecher; RFID; pico Projektoren; Oszillatoren; Mikrobrennstoffzellen; und Technologien der automatischen Scharfeinstellung unter anderem.

„Oxford-Instrument-Plasma-Technologie fährt fort, Technologien zur Verfügung zu stellen, die die existierenden und auftauchenden Anwendungen im MEMS-Markt adressieren,“ kommentiert Kennzeichen Vosloo, Oxford-Instrument-Plasma-Technologie-Verkaufsleiter, „Mit einem breiten Prozess und Anwendungseffektenbestand, unsere Technologien aktivieren viele der Anwendungen, die heute gekennzeichnet werden und der deren von morgen. Mit in 19 Jahren Erfahrung in MEMS R&D verstehen wir den Markt, und sprechen den Bedarf unserer Abnehmer an, sie mit den innovativsten erhältlichen Hilfsmitteln zu versehen.“

Die Niedrigen Kosten des Besitzes durch optimierte Kleinteile und Prozesskontrolle, verbunden mit hervorragender globaler Kundenbetreuung, bedeuten, dass Oxford-Instrumente fortfährt, ihren Abnehmern ein ausgezeichnetes Produktangebot anzubieten.

Diese späteste Systementwicklung verstärkt das Ziel Oxford-Instrumente, um der führende Anbieter von Hilfsmitteln und von Anlagen der neuen Generation für industrielles zu sein und erforscht die Märkte, basiert auf unserer Fähigkeit, Stoff am Klein zu analysieren und zu manipulieren. Die Firma verwendet Innovation, um intelligente Wissenschaft zu worldclass Produkte zu machen, die Forschung und Industrie unterstützen, um die großen Herausforderungen des 21. Jahrhunderts anzusprechen.

Last Update: 12. January 2012 16:59

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