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Nueva Tecnología Profunda del Grabado De Pistas del Silicio para las Aplicaciones de MEMS

Published on June 6, 2011 at 2:13 AM

Los Instrumentos de Oxford anuncian el lanzamiento de PlasmaPro Estrelas100, nueva tecnología profunda del grabado de pistas del silicio desarrollados para entregar funcionamiento de proceso de cabeza de la industria, y proporcionar a soluciones flexibles al mercado de MEMS.

Con el mercado del R&D en mente, PlasmaPro Estrelas100 ofrece el final en adaptabilidad de proceso. Las estructuras Nanas y micras se pueden observar como la dotación física se han diseñado con la capacidad de ejecutar Bosch y tecnologías del grabado de pistas del cryo en el mismo compartimiento. De procesos lisos del flanco a los altos procesos del tipo del grabado de pistas, se ha desarrollado el PlasmaPro Estrelas100 asegurándose de que la variedad de aplicaciones de MEMS se puede lograr sin la necesidad de cambiar la dotación física del compartimiento.

Como el revelado y la comercialización de nuevos Electro Sistemas Mecánicos Micros (MEMS) se está convirtiendo una realidad, dispositivos tradicionales tales como acelerómetros, giroscopios y los micrófonos continúan ver la adopción creciente en muchos los productos electrónicos de consumo, las visualizaciones y las aplicaciones automotores. MEMS puede proporcionar a una solución donde hay un requisito para que un dispositivo o un sensor sea miniaturizado. Los Dispositivos que emergen en la fase del R&D incluyen la cosecha de la energía; locutores; RFID; proyectores del pico; osciladores; pilas de combustible micras; y tecnologías del autofocus entre otros.

“La Tecnología del Plasma de los Instrumentos de Oxford continúa proporcionar a las tecnologías que dirigen aplicaciones existentes y emergentes en el mercado de MEMS,” comenta Marca Vosloo, Director de Ventas de la Tecnología del Plasma de los Instrumentos de Oxford, “Con un proceso amplio y la cartera de la aplicación, nuestras tecnologías activa muchos de las aplicaciones determinadas hoy y de las de mañana. Con durante 19 años de experiencia en el R&D de MEMS entendemos el mercado, y dirigimos las necesidades de nuestros clientes de proveer de ellos las herramientas más innovadoras disponibles.”

El Bajo Costo de la Propiedad con mando optimizado de la dotación física y de procesos, acoplado con la atención al cliente global excepcional, significa que los Instrumentos de Oxford continúan ofrecer a sus clientes un ofrecimiento excelente del producto.

Este último revelado de sistema refuerza el objetivo de los Instrumentos de Oxford para ser el proveedor de cabeza de las herramientas y de los sistemas de la nueva generación para industrial e investiga mercados, sobre la base de nuestra capacidad de analizar y de manipular la materia en la escala más pequeña. La compañía utiliza la innovación para girar ciencia elegante en los productos de calidad mundial que utilizan la investigación y la industria para dirigir los grandes retos del siglo XXI.

Last Update: 12. January 2012 16:34

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