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Technologie Profonde Neuve Gravure À L'eau Forte de Silicium pour des Applications de MEMS

Published on June 6, 2011 at 2:13 AM

Les Instruments d'Oxford annonce le lancement de PlasmaPro Estrelas100, technologie profonde neuve gravure à l'eau forte de silicium développés pour livrer la principale performance de processus d'industrie, et fournir les solutions flexibles au marché de MEMS.

Avec le marché de R&D de l'esprit, PlasmaPro Estrelas100 offre l'éventuel dans la souplesse de processus. Des structures Nanoes et micro peuvent être réalisées comme matériel a été conçues avec la capacité de faire fonctionner Bosch et technologies gravure à l'eau forte de cryo dans la même cavité. Des procédés sans heurt de flanc aux procédés élevés de tarifs gravure à l'eau forte, le PlasmaPro Estrelas100 a été développé en s'assurant que la variété d'applications de MEMS peut être réalisée sans nécessité de changer le matériel de cavité.

Pendant Que le développement et la commercialisation du Micro Electro Mechanical Systems neuf (MEMS) devient une réalité, les dispositifs traditionnels tels que des accéléromètres, des gyroscopes et des microphones continuent à voir l'adoption accrue dans les beaucoup électronique grand public, affichages et applications automobiles. MEMS peut fournir une solution où il y a une condition pour qu'un dispositif ou un senseur soit miniaturisé. Les Dispositifs apparaissant pendant la phase de R&D comprennent la moisson d'énergie ; orateurs ; RFID ; projecteurs de pico ; oscillateurs ; cellules à combustible micro ; et technologies de mise au point automatique notamment.

« La Technologie de Plasma d'Instruments d'Oxford continue à fournir les technologies qui adressent des applications existantes et apparaissantes sur le marché de MEMS, » commente la Note Vosloo, Directeur de Ventes de Technologie de Plasma d'Instruments d'Oxford, « Avec un procédé grand et le portefeuille d'application, nos technologies activent on des applications recensées aujourd'hui et de ceux du demain. Avec sur 19 ans d'expérience de R&D de MEMS nous comprenons le marché, et satisfaisons les besoins de nos abonnées de leur fournir les outils les plus novateurs disponibles. »

Le Coût Bas de la Propriété par la commande optimisée de matériel et de processus, ajouté au support technique global en suspens, signifient que les Instruments d'Oxford continue à offrir à leurs abonnées une excellente offre de produits.

Ce dernier développement de système renforce l'objectif des Instruments d'Oxford pour être le premier fournisseur des outils et des systèmes de rétablissement neuf pour des marchés d'industriel et de recherches, basés sur notre capacité d'analyser et manipuler la substance à la plus petite échelle. La compagnie emploie l'innovation pour transformer la science intelligente en produits worldclass qui supportent la recherche et l'industrie pour relever les défis grands du 21ème siècle.

Last Update: 12. January 2012 16:55

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