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Posted in | MEMS - NEMS

MEMSアプリケーション用の新しいディープシリコンエッチング技術

Published on June 6, 2011 at 2:13 AM

オックスフォードインスツルメンツは PlasmaPro Estrelas100、業界をリードするプロセスのパフォーマンスを実現するために開発された新しいディープシリコンエッチング技術の立ち上げを発表し、MEMSの市場への柔軟なソリューションを提供しています。

念頭に置いてR&D市場で、PlasmaPro Estrelas100は、プロセスの柔軟性の究極を提供しています。ハードウェアが同一のチャンバー内にボッシュとクライオエッチング技術を実行する機能が装備されているとして、ナノおよびマイクロ構造を実現することができる。高いエッチング速度のプロセスへの円滑な側壁のプロセスから、PlasmaPro Estrelas100は、MEMSのアプリケーションの様々なチャンバーのハードウェアを変更することなく達成することができることを確実に開発されています。

新しいマイクロエレクト​​ロメカニカルシステム(MEMS)の開発と実用化が現実になりつつあるとして、そのような加速度計、ジャイロスコープ、マイクなどの従来のデバイスは、多くの民生用電子機器、ディスプレイやオートモーティブアプリケーションで増加した採用を表示し続ける。小型化するデバイスやセンサーのための要件が​​ある場合MEMSは、ソリューションを提供することができます。スピーカー; RFID、ピコプロジェクター、発振器、マイクロ燃料電池、および他の中のオートフォーカス技術の研究開発段階で新たなデバイスは、エネルギーハーベスティングが含まれます。

マークVosloo、オックスフォードインスツルメンツプラズマ技術のセールスディレクターは、広範なプロセスとアプリケーションのポートフォリオでは、"コメント"オックスフォードインスツルメンツプラズマ技術は、MEMS市場のアプリケーションを既存および新規のアドレスは、ことの技術を提供し続ける"、私たちの技術は今日識別されたアプリケーションの多くを有効にするそして明日のもの。MEMS研究開発における19年以上の経験を持って我々は市場を理解し、利用可能な最も革新的なツールを提供するために、お客様のニーズに対応しています。"

卓越したグローバルな顧客サポートと相まって最適化されたハードウェアやプロセスコントロールを介して、低所有コストは、、オックスフォードインスツルメンツは、顧客に優れた製品の提供を提供し続けることを意味する。

この最新のシステム開発では、最小のスケールで物質を分析し、操作する当社の能力に基づいて、産業用および研究市場向けの新世代のツールやシステムのリーディングプロバイダであることがオックスフォードインスツルメンツ社の狙いを強化する。同社は、21世紀の大きな課題に対処するための研究と産業界をサポートするワールドクラスの製品にスマートな科学をオンにするイノベーションを活用しています。

Last Update: 9. October 2011 04:37

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