Posted in | MEMS - NEMS

Nieuwe Deep Silicon Etch-technologie voor MEMS toepassingen

Published on June 6, 2011 at 2:13 AM

Oxford Instruments kondigt de lancering aan van PlasmaPro Estrelas100, nieuwe diepe silicium etch technologie die is ontwikkeld voor de industrie toonaangevende proces prestaties, en het verstrekken van flexibele oplossingen voor de MEMS-markt.

Met de R & D-markt in het achterhoofd, PlasmaPro Estrelas100 biedt het ultieme in flexibiliteit in het proces. Nano-en micro-structuren kunnen worden gerealiseerd als de hardware is ontworpen met de mogelijkheid om Bosch en cryo etsen technologieën lopen in dezelfde kamer. Van glad zijwand processen om een ​​hoog etssnelheid processen, heeft de PlasmaPro Estrelas100 ontwikkeld ervoor te zorgen dat de verscheidenheid van MEMS-toepassingen kan worden bereikt zonder de noodzaak om de kamer hardware te veranderen.

Aangezien de ontwikkeling en commercialisering van nieuwe Micro Electro Mechanical Systems (MEMS) is een realiteit, traditionele apparaten zoals versnellingsmeters, gyroscopen en microfoons blijven verdere invoering in tal van consumenten-elektronica, displays en automotive toepassingen te zien. MEMS kan een oplossing bieden waar sprake is van een vereiste voor een apparaat of sensor worden verkleind. Apparaten opkomst in de R & D-fase zijn energie oogsten, speakers, RFID, pico projectoren, oscillatoren, micro-brandstofcellen, en autofocus technologie onder andere.

"Oxford Instruments Plasma technologie blijft om technologieën te bepalen dat het adres van bestaande en nieuwe toepassingen in de MEMS-markt," Mark Vosloo, Oxford Instruments Plasma Technology Sales Director, zegt: "Met een breed proces en applicatie portfolio, onze technologieën in staat stellen veel van de applicaties geïdentificeerd vandaag en die van morgen. Met meer dan 19 jaar ervaring in MEMS R & D wij begrijpen de markt en de behoeften van onze klanten om hen te voorzien van de meest innovatieve tools beschikbaar. "

Low Cost of Ownership door middel van geoptimaliseerde hardware en processen te controleren, in combinatie met een uitstekende wereldwijde klantenondersteuning, dat Oxford Instruments blijft bieden hun klanten een uitstekend product te bieden.

Deze laatste ontwikkeling van het systeem versterkt de Oxford Instruments 'tot doel de toonaangevende leverancier van een nieuwe generatie tools en systemen voor industriële en onderzoek markten, gebaseerd op ons vermogen om te analyseren en materie te manipuleren op de kleinste schaal. Het bedrijf maakt gebruik van innovatie om te zetten in de wetenschap slimme wereldklasse producten die onderzoek en de industrie te ondersteunen om de grote uitdagingen van de 21e eeuw aan te pakken.

Last Update: 3. October 2011 02:34

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit