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Posted in | MEMS - NEMS

Nova tecnologia de silício profunda Etch para Aplicações MEMS

Published on June 6, 2011 at 2:13 AM

Oxford Instruments anuncia o lançamento de PlasmaPro Estrelas100, nova tecnologia de silício profunda etch desenvolvidos para entregar indústria o desempenho do processo principal, e fornecendo soluções flexíveis para o mercado de MEMS.

Com o mercado de P & D em mente, PlasmaPro Estrelas100 oferece o máximo em flexibilidade de processo. Estruturas nano e micro pode ser realizado como o hardware foi desenvolvido com a capacidade de executar Bosch e tecnologias crio etch na mesma câmara. A partir de processos lisa parede lateral para processos de alta taxa de corrosão, o Estrelas100 PlasmaPro foi desenvolvido garantir que a variedade de aplicações de MEMS podem ser alcançados sem a necessidade de mudar o hardware de câmara.

Como o desenvolvimento e comercialização de novas Micro Electro Mechanical Systems (MEMS) está se tornando uma realidade, os dispositivos tradicionais, tais como acelerômetros, giroscópios e microfones continuar a ver uma maior adoção em eletrônicos de consumo muitos, displays e aplicações automotivas. MEMS pode fornecer uma solução onde há uma exigência de um dispositivo ou sensor a ser miniaturizados. Dispositivos emergentes na fase de I & D incluem captação de energia; alto-falantes; RFID; projetores pico; osciladores; micro células de combustível e tecnologias de autofocus, entre outros.

"Oxford Instruments Plasma A tecnologia continua a fornecer tecnologias que abordam aplicações existentes e emergentes no mercado de MEMS", comenta Mark Vosloo, Oxford Instruments Tecnologia Plasma Diretor de Vendas, "Com um processo amplo e portfólio de aplicativos, as nossas tecnologias permitem muitas das aplicações identificadas hoje e os de amanhã. Com mais de 19 anos de experiência em MEMS R & D que entender o mercado e atender às necessidades de nossos clientes para lhes proporcionar as mais inovadoras ferramentas disponíveis. "

Baixo custo de propriedade por meio de hardware otimizado e controle de processos, junto com o suporte de cliente proeminente global, significa que Oxford Instruments continua a oferecer aos seus clientes uma oferta de produtos excelente.

Este desenvolvimento mais recente sistema reforça objetivo Oxford Instruments "para ser o principal fornecedor de ferramentas de nova geração e sistemas para os mercados industrial e de pesquisa, com base em nossa capacidade de analisar e manipular a matéria na menor escala. A empresa utiliza para transformar a inovação em produtos inteligentes ciência de classe mundial que suportam a investigação ea indústria para abordar os grandes desafios do século 21.

Last Update: 7. October 2011 03:35

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