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Posted in | MEMS - NEMS

MEMS 应用的新的深刻的硅铭刻技术

Published on June 6, 2011 at 2:13 AM

牛津仪器宣布 PlasmaPro Estrelas100,被开发的新的深刻的硅铭刻技术生成传送行业主导的处理性能和提供灵活的解决方法给 MEMS 市场。

想着 R&D 市场, PlasmaPro Estrelas100 提供最终在处理灵活性。 纳诺和微结构可以认识到作为硬件设计了以这个能力运行 Bosch 和 cryo 铭刻技术在同一个房间。 从平稳的侧壁进程到高铭刻费率进程, PlasmaPro Estrelas100 被开发了保证 MEMS 应用种类可以达到,不用需要更换房间硬件。

作为新的微电镀机械系统的发展和商品化 (MEMS)成为事实,传统设备例如过载信号器,陀螺仪,并且话筒继续发现在许多的增加的采用家电、显示和汽车应用。 MEMS 可能提供有设备或传感器的一个需求小型化的解决方法。 涌现在 R&D 阶段的设备包括能源收获; 演讲人; RFID; pico 放映机; 振荡器; 微燃料电池; 并且在其他中的自动聚焦技术。

“牛津仪器等离子技术继续提供在 MEMS 市场上解决现有的和涌现的应用的技术”,评论标记 Vosloo,牛津仪器等离子技术经销总理, “有一个清楚的进程的,并且应用投资组合,我们的技术启用许多应用今天被识别的和那些明天。 在 19 年期间在 MEMS R&D 的经验我们了解这个市场,并且处理我们的客户的需要提供他们以可用最创新的工具”。

所有权的低成本通过优化硬件和流程控制,加上未清全球客户支持,意味着牛津仪器继续提供他们的客户一非常好产品提供。

此最新的系统开发加强牛津仪器的目标是新一代工具和系统主导的提供者行业的并且根据我们的能力分析和操作问题研究市场,在最小的规模。 这家公司使用创新把聪明的科学变成支持研究和行业解决 21 世纪的巨大挑战的国际水平的产品。

Last Update: 12. January 2012 16:51

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